판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #293685175

ID: 293685175
빈티지: 1997
Resistivity mapping system 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35는 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급, 다기능 기능을 자랑하며, 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 에 대해 다양한 테스트를 수행할 수 있습니다. KLA RS35 장치를 사용하면 웨이퍼의 자동 측정, 결함 검사, 전기 테스트, 프로세스 제어 및 항복 분석이 가능합니다. TENCOR RS 35 기계는 PCI (Partial Coherent Interferometry), CM (confocal microscopy) 및 근거리 필드 기술과 같은 다양한 광학 기반 기술을 사용하여 웨이퍼 표면의 품질과 성능을 평가합니다. 이러한 기술은 서피스 지형, 결함 크기, 깊이 표현성 (depth representability) 및 필름 두께 (film thickness) 와 관련된 피쳐를 검색하는 데 사용됩니다. 이러한 기술의 조합으로 KLA는 검사 대상 웨이퍼에 대한 정확한 정보를 제공 할 수있는 거의 비교할 수없는 능력을 제공합니다. PROMETRIX RS-35는 또한 웨이퍼 테스트 프로세스를 간소화하도록 설계된 다양한 자동화 기술을 갖추고 있습니다. 사용자는 사용자 정의 가능한 매크로를 사용하여 검사 및 측정 프로세스를 자동화하여 품질 보증 (Quality Assurance) 에 필요한 수동 입력 (Manual Input) 을 줄일 수 있습니다. 이 도구는 또한 내장 스테이지 기능 (BIST) 의 이점을 얻으며, 이를 통해 자산은 동일한 웨이퍼에서 여러 개의 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 모델은 검사 프로세스 (inspection process) 에 의해 생성된 데이터를 분석할 때도 다양한 옵션을 제공합니다. 장비의 필수 부분은 TENCOR 웨이퍼 분석 도구 (TENCOR Wafer Analysis Tool) 제품군으로, 다양한 웨이퍼 검사 테스트의 데이터를 하나의 보고서에 쉽게 결합하여 추가 분석을 할 수 있습니다. PROMETRIX (PROMETRIX) 에서 제공하는 고급 보고 (Advanced Reporting) 기능을 사용하면 Wafer 데이터를 거의 실시간으로 시각화할 수 있으므로 운영 프로세스에 영향을 미치는 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. 마지막으로, RS-35 시스템은 견고한 아키텍처를 갖추고 있어 기존 하드웨어/소프트웨어 솔루션과 통합할 수 있습니다. 즉, 새로운 하드웨어에 투자하지 않고도 고급 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 및 도량형 (Metrology) 기능을 활용할 수 있으므로 기존 반도체 (Semiconductor) 운영 라인이나 신규 운영 환경에서 사용할 수 있는 최적의 솔루션입니다. 요약하면, KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35는 강력하고 다기능 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 또한 다양한 광학 기반 기술, 자동화 기능, 보고 툴을 제공하여 wafer (웨이퍼) 생산의 품질을 빠르고 쉽게 평가할 수 있습니다. 이 외에도, 고도로 통합된 아키텍처를 통해 기존 소프트웨어 솔루션과 손쉽게 통합할 수 있습니다. 이를 통해 PROMETRIX RS 35는 모든 반도체 생산 환경에 이상적인 선택입니다.
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