판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #293628450

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35는 반도체 기판 및 장치를 검사하고 측정하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 패턴 방식의 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형에서 최고의 성능, 정확성, 동급 최고의 처리량을 제공하는 다양한 기능을 제공합니다. KLA RS35는 6 축 로봇 스테이지와 고해상도 간섭법 (interferometric) 장치를 사용하여 두께, 편평도, 균일성 등과 같은 광범위한 웨이퍼 특성을 측정 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 비 접촉 산란 측량, 투영 낙인 측정 및 레이저 회절과 같은 높은 정확도 도량형 기술이 장착되어 있습니다. 또한 소형 형상, 세부 서피스 텍스처 등의 고급 이미징 기능을 제공하는 고해상도 이미징 머신 (High Resolution Imaging Machine) 을 갖추고 있습니다. 이 툴은 내장형 아키텍처로 인해 안정성이 높고 유지 보수가 불가능하며, 기존의 광 시스템 (Optical System) 이 필요 없습니다. 또한 동급 최강의 데이터 처리 및 분석 기능을 자동화하여, 생산성 및 일관성을 극대화할 수 있어, 자산의 성능이 향상됩니다. TENCOR RS 35는 또한 정확성과 생산성을 더욱 향상시키는 다양한 고급 기능을 제공합니다. 여기에는 레이어 두께 측정, 선 너비 측정, CD 불일치 측정, 기타 등의 특정 작업에 대한 고급 분석 기능이 포함됩니다. 또한 패턴 분석을위한 향상된 시각화 및 고급 조명 기술을 갖추고 있습니다. 또한, 이 모델에는 신뢰성 테스트를위한 프로세스 제어 장비 (Process Control Equipment) 와 장치 및 회로 특성화를위한 CMOS 이미징 시스템 (CMOS Imaging System) 과 같은 특수 분석 시스템이 제공됩니다. TENCOR RS35 (TENCOR RS35) 는 패턴화된 웨이퍼 테스트 및 도량형에서 가장 높은 정확성과 처리량을 제공 할 수있는 고급 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS35는 종합적인 기능, 고급 분석 기능, 향상된 시각 형상 및 조명 기술을 통해 모든 웨이퍼 테스트 또는 도량형 어플리케이션에 적합한 솔루션입니다.