판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100C #293765567

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100C는 결함 감지, 정밀 도량형 및 프로세스 제어에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼에 대한 다양한 도량형 (metrology) 및 결함 검사 (defect inspection) 작업을 수행할 수 있는 모든 기능을 갖춘 자동화된 시스템입니다. 이 제품은 최대 10nm (라인 폭) 및 20nm (기능 크기) 의 고해상도 이미징을 제공하도록 설계되었으며, 이는 생산 테스트와 연구 및 개발에 이상적입니다. KLA RS-100C에는 멀티 빔 옵티컬 유닛, 포인팅 및 포커싱, 이미징 및 오버레이 기능, 특허받은 오버레이 보상 기능 등 다양한 구성 옵션이 있습니다. 또한 자동 셔터링 머신 (automated shuttering machine) 을 사용하여 웨이퍼를 효율적으로 스캔하고 검사하여 수많은 웨이퍼에서 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. TENCOR RS-100C의 광학은 라인 너비, 스텝 높이, 개방 및 단락 회로, 핫스팟, 표면 오염 등 다양한 결함을 검사하는 데 이상적입니다. 단일 웨이퍼 (wafer) 에서 여러 피쳐를 동시에 검사할 수 있으며, 정확한 배치를 위해 fiducial 표시를 자동으로 정렬할 수 있습니다. 또한, 온보드 이미지 분석 소프트웨어는 다양한 체계적이고 랜덤 한 결함을 식별하고 추가 분석을 위해 분리 할 수 있습니다. PROMETRIX RS-100C는 도량형 및 결함 검사 기능 외에도 다양한 기능을 제공하여 프로세스 최적화를 보장합니다. 여기에는 신속하고 정확한 프로세스 최적화를 위한 정교한 프로세스 제어 툴 (process control tools) 과 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있어 프로세스를 빠르고 직관적으로 제어할 수 있습니다. 또한 내장된 데이터 저장 (data storage) 및 전송 (transfer) 기능을 통해 프로세스 데이터와 도량형을 손쉽게 전송할 수 있습니다. 전반적으로, RS-100C는 다양한 반도체 웨이퍼의 결함을 감지하고 분석하는 데 사용되는 포괄적 인 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 이 기능은 프로덕션 테스트와 연구/개발, 신뢰성 있는 도량형 (metrology) 결과 및 프로세스 최적화 기능을 모두 제공하는 이상적인 선택입니다.