판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9222500
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판매
ID: 9222500
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Resistance measurement system, 12"
With dual FIMS loader for 300 mm wafers
Wafer shape SNNF, 8"/12" (Semi Notch No Flat)
Measurement unit includes: (2) Probe heads A &B
Wafer handler: ASYST DFIMS 300 With IsoPorts
Computer included
2007 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100은 반도체 장치 구조를 검사하기 위해 설계된 고급 멀티 센서 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 샘플을 빠르고 정확하게 측정, 검사, 분석할 수 있는 인라인 (in-line) 통합 시스템입니다. KLA RS-100에는 광학 현미경, 간섭계 및 나노 캐너의 3 가지 주요 구성 요소가 장착되어 있습니다. 광학 현미경은 웨이퍼의 개별 장치의 모양, 크기, 토폴로지를 측정하는 데 사용됩니다. "나노스캐너 '는 입자 와 기타 결함 을" 나노미터' 저울 까지 탐지 할 수 있다. 이 강력한 센서 조합을 통해 TENCOR RS100은 웨이퍼 표면 텍스처의 품질을 평가하고 표준 (standard) 과 비교할 수 있습니다. 또한 입자 오염, 라인 너비 변형, 스텝 높이, 오염, 접촉 및 곡물과 같은 결함을 검사합니다. RS100은 레이저 지원 초점 도량형, 전송 방법, 다중 기준점, 시선분석 (Line-of-Sight) 분석 등 다양한 산업적으로 허용되는 도량형 방법을 제공합니다. 통합 설계 및 소프트웨어를 통해 데이터 수집 및 분석 기능을 자동으로 수행할 수 있습니다. RS-100에는 선명한 내부 검사 환경과 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 갖춘 고해상도 평면 패널 모니터 (Flat Panel Monitor) 가 포함되어 있습니다. 추가 기능을 위해 시스템을 다른 KLA 시스템과 통합할 수 있습니다. PROMETRIX RS-100은 웨이퍼 테스트, 도량형 및 결함 탐지에서 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 통합 기능과 사용 편이성이 있어 운영 라인, 연구 개발, 프로세스 검증 (qualification) 애플리케이션에 적합합니다. TENCOR WaferMap, DBU 및 Microsoft Windows와 같은 다양한 소프트웨어 플랫폼과 호환됩니다.
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