판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9206414

KLA의 KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100은 고급 도량형 기술과 직관적인 사용자 인터페이스 요소를 결합한 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 높은 처리량, 정확성, 반복성 덕분에 고장 분석 (failure analysis), 패턴화된 웨이퍼 테스트 (patterned wafer testing), 광학 결함 검사 (optical defect inspection) 등 까다로운 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 클라라 RS-100 (KLA RS-100) 의 핵심에는 정교한 광학 시스템이 있으며, 측정 및 위치 오류를 줄이면서 웨이퍼 특성의 고정밀 측정이 가능한 전동 Z 단계 및 높이 매핑 어레이가 특징입니다. 이 장치 의 역학 은 "나노미터 '계 의 저조도 와 진동," 나노미터' 계 의 정확도 가 낮아진 부드러운 조작 을 하도록 설계 되었다. 고급 광학 기계 외에도 TENCOR RS100 (TENCOR RS100) 에는 다양한 테스트 및 검사 도구가 장착되어 있습니다. 광원 어레이 (Light Source Array) 및 이미징 시스템을 사용하면 광학 결함 검사, 광원 소스 스캔 및 백사이드 웨이퍼 검사 작업을 수행할 수 있습니다. 광학 패턴 인식 (Optical Pattern Recognition) 자산을 사용하면 복잡한 패턴으로 웨이퍼의 결함을 식별할 수 있습니다. 전체 도량형 도구도 포함되어 있으며, 두께, 저항, 시트 저항, 시트 정전 용량과 같은 측정을 제공합니다. TENCOR RS-100에는 쉽게 작동할 수있는 직관적인 사용자 인터페이스가 포함되어 있습니다. 지능형 사용자 안내 모델 (Intelligent User Guidance Model) 에는 지정된 응용 프로그램에 대한 최상의 테스트 또는 검사 설정과 실패한 테스트에 대한 자동 재실행 (Re-run) 옵션이 자동으로 제안됩니다. 즉, 사용자 인터페이스의 직관적인 성격을 통해 최소한의 교육을 통해 장비를 작동시킬 수 있습니다. 마지막으로, RS100 시스템은 다양한 특정 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있도록 확장되고, 맞춤형으로 구성할 수 있도록 설계되었습니다. 여러 웨이퍼 스테이지 (multiple wafer stage) 및 다양한 테스트 일정 (test fixture) 과 같은 추가 기능을 사용할 수 있습니다. 전반적으로 PROMETRIX RS-100은 사용자 정의 가능하고 확장 가능한 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 고급 옵틱, 종합적인 테스트 및 검사 기능, 직관적인 사용자 인터페이스, 확장성을 갖춘 KLA RS100 은 까다로운 다양한 wafer metrology 애플리케이션에 적합합니다.