판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9123627
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판매
ID: 9123627
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2006
Resistance mapping system, 8"-12"
Single open cassette handler
Robot: ATM-107-2-S-CE-S293
Single fork
Controller: 6-0002-0865-SP
Trackball and keyboard standard
Alignment system: Camera
Factory automation: E40, E94, E90, E87
PC Configuration
CPU: PIII 850 MHz
Memory: 512 MB RAM
70 GB Fixed hard disk drive
17" VGA Monitor
CD-ROM Drive
Diskette drive capacity: 1.44 MB
Software configuration:
OS: Windows NT 4.00.1381
RS-100 Version: 2.31.04
Resistivity tester firmware: 1.02a
Measurement specification:
Measurement range: 5m Ohm/sq - 5m Ohm/sq
Absolute accuracy: 1% of NSIT certified range
Temperature accuracy: 0.5°C
Temperature repeat-ability: 0.2°C
Routine check: 1-30 sites programmable
Single or dual configuration capability
220 V, 15 A, 50/60 Hz, 1 Phase
2006 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 얇은 웨이퍼 검사 및 특성화를위한 다목적 솔루션입니다. 특허를 획득한 친환경 레이저 (Green Laser) 기술과 첨단 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 섬세한 샘플 표면의 비접촉 검사에 더 큰 정확도, 속도, 반복성을 약속합니다. 10 nm에서 10 mm 사이의 탁월한 정확도로 측정 할 수 있으며, 반도체 도량형 (semiconductor metrology) 및 석판화 (lithography) 에서 평면 패널 디스플레이 (flat panel display) 및 태양 전지 도량형 및 검사에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합합니다. 시스템의 주요 기능은 다음과 같습니다. 저에너지 녹색 레이저 장치 사용, 뛰어난 해상도 및 전력 안정성 제공. 결과적으로, 추가 초점 기계나 샘플 준비가 필요하지 않습니다. 2. 자동화된 이미지 처리 알고리즘은 물론, 완벽한 프로그래밍성과 견고성 (견고성) 을 제공합니다. 3. 10nm ~ 10mm의 넓은 측정 범위. 4. 높은 정확성과 반복 가능성. 5. 본딩 및 스터딩 사인오프 기능. 6. 50 nm 이하의 범위에서 작동하는 높은 오버레이 정확도. 7. 웨이퍼 (wafer) 수준에서 처리하여 단일 칩에 필요한 모든 측정값을 얻습니다. 8. 결함 분류, 지형 및 단면 이미징. 9. 여러 유형의 결함을 감지하고 분리할 수 있습니다. 이 밖에도 첨단 기판 처리 (Substrate Handling) 기술, 다양한 핵심 시스템/옵션 (특정 요구 사항에 맞게 결합 및 조정 가능) 이 포함되어 있습니다. 이 중에는 웨이퍼 포지셔닝 센서 및 액추에이터, 고급 패턴 인식 소프트웨어가 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 KLA RS-100은 복잡한 웨이퍼 도량형 및 검사 어플리케이션에 비해 뛰어난 성능, 정확성, 적응성을 제공합니다.
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