판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #293628453

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100은 강력하지만 다용도, 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 고급 도량형 기술 (Advanced Metrology Technology) 을 활용하여 프로세스 제어 및 데이터 분석을 강화하여 웨이퍼 프로세싱에서 신속하고 정확한 결정을 내릴 수 있습니다. KLA RS-100은 실험실과 단단한 공간에 적합한 컴팩트 한 디자인을 갖추고 있습니다. 공간 효율적이고 모듈식 아키텍처에는 듀얼 또는 쿼드 구성으로 주문할 수 있는 ODS (High-Resolution Optical Discovery System) 가 포함되어 있습니다. 이를 통해 CD, 포커스, 노치 또는 오버레이와 같은 최대 4 개의 특정 측정을 동시에 수행 할 수 있습니다. 또한, ODS의 충분한 큰 샘플 챔버 (sample chamber) 는 전체 조명 범위의 더 큰 샘플을 검사하는 데 이상적입니다. TENCOR RS100 (TENCOR RS100) 의 성능은 고급 분석 알고리즘을 사용하여 더욱 향상되었으며, 다이 크기 (die size) 의 변형과 여러 측정의 패턴을 완벽하게 비교할 수 있습니다. 강력한 소프트웨어 기능은 또한 표면 지형, 프로파일, 오버레이, 라인 너비, 결함, 이미지 분석 등 다양한 측정 모드에서 정확도, 속도, 유연성을 제공합니다. 또한 뛰어난 오버레이 정렬 (overlay alignment), 선 너비 측정 (line width measurements) 및 피쳐 레벨에서 정확하게 측정하기 어려운 기타 피쳐도 제공합니다. RS-100은 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형 (metrology) 에 가장 적합한 기능을 자랑합니다. 통합 옵틱은 뛰어난 반복성과 정확성을 제공하는 반면, 자동화 기능은 빠르고 간편한 설치/운영 기능을 제공합니다. 인체 공학적 디자인에는 대형 터치스크린 패널과 사용자 친화적 인터페이스 (설정 시간 단축, 지침 제공, 사용자 오류 최소화) 가 포함되어 있습니다. 또한 고속 쌍극성 및 극성 조명, 4 배 전자 확대/축소, 반투명 광학 백라이트, 열/주변 온도 컨트롤러와의 통합 등의 고급 조명 기능도 갖추고 있습니다. 또한 KLA RS100은 KLA DAS (Data Acquisition and Analysis Software) 와 호환되므로 데이터를 분석하여 프로세스 추세를 파악하고 보다 정확한 데이터 분석을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 RS100은 테스트 및 도량형 요구에 이상적인 선택입니다. 다양한 기능/기능을 제공하여 다양한 측정, 프로세스, 애플리케이션에 적합합니다. 모듈식 설계, 뛰어난 옵틱, 분석 기능을 갖춘 TENCOR RS-100은 정확성과 속도를 제공하여 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형에 적합합니다.