판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #293610237

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100은 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 소자의 균일성과 전기적 특성을 검사하고 측정하는 데 사용된다. KLA RS-100은 특허를받은 MMS (Multiple Measurement Solutions) 플랫폼을 사용하며 SAM (Scanning Acoustic Microscopy), 광학 현미경 및 x- 선 지형과 같은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 기술을 결합합니다. TENCOR RS100은 복잡한 반도체 장치 구조 및 재료의 효율적이고 정확한 분석을 위해 설계되었습니다. 고급 ADDR (Automatic Defect Detection and Review) 시스템과 통합되어 있으며, 이 시스템은 온보드 분석뿐만 아니라 나노미터 스케일 결함을 감지하고 찾을 수 있습니다. 이 장치는 또한 고급 D- 빔 자동 패턴 인식 머신 (automated pattern recognition machine) 과 통합되어 정확한 웨이퍼 오버레이 측정 및 제어가 가능합니다. TENCOR RS-100은 다양한 자동 테스트 및 검사 기능으로, 균일성, 반복성 및 웨이퍼 특성을 정확하게 측정합니다. Multi-Zone Tracking 기능은 여러 초점 평면에 대한 웨이퍼 데이터와 결함을 자동으로 추적하는 반면 Multi-Parameter 측정 기능은 표면 거칠기, 두께, 도펀트 농도, 전자 현미경 (EMMI) - 픽셀 분석 및 균일성과 같은 여러 매개변수를 동시에 계산합니다. 이 도구에는 기계적 왜곡을 모니터링하고 보상하는 자동 드리프트 보상 (drift compensation) 기술도 포함되어 있습니다. 에셋에는 웨이퍼 균일성 (Wafer Unifority) 및 라인 너비 변형을 측정할 수있는 고속 X- 레이 이미징 서브시스템, 결함을 신속하게 찾기 위한 실시간 이미징 모델, 웨이퍼 기능 향상 및 개선을위한 다양한 자동 분석 도구 (Automated Analytical Tools) 가 장착되어 있습니다. 또한, KLA RS100은 정밀 CCD 정렬 및 광학 특성을 제공하는 광학 보조 정렬 장비를 갖추고 있습니다. PROMETRIX RS-100 시스템은 기존 하드웨어 및 소프트웨어 시스템과 완벽하게 통합되며, 소프트웨어 개발 도구 (옵션) 를 통해 기능을 확장할 수 있습니다. 따라서 RS100은 통합 도량형 및 테스트 기능을 최적화하여 웨이퍼 (Wafer) 개발 프로세스에 대한 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하며, 반도체 장치 제조업체가 고품질, 신뢰성 있는 제품을 시장에 제공할 수 있게 해 줍니다.