판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox #9193136
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ID: 9193136
Wafer measurement system
Chuck: 8"
Open cassette with BROOKS PRI single end effector robot handler
Dual open cassette
Measurement head: LD / CO
Oven
Signal tower
UPS: No
Hardware configuration:
Load port: (2) Open cassette stations
Quickmap head
PDU
FG1 / FG2
Facilities:
Input power: 200 VAC +/-5%, 50/60 Hz
Input vacuum: 610 mm Hg
Input CDA: 75-100 PSI
Input N2: 75-100 PSI
Exhaust: 2000-4000 L/min
Currently crated.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox는 프로덕션 및 R&D 환경 모두에 사용하도록 설계된 완전 통합 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다양한 강력한 장치를 갖춘 KLA Quantox는 종합적인 웨이퍼 도량형 및 테스트 기능을 제공합니다. 시스템은 기판 홀더, 도량형 도구, 웨이퍼 검사 장치 및 컴퓨터 제어 기계로 구성됩니다. 기판 홀더 (기판 홀더) 는 연마 된 웨이퍼가 추가 처리를 위해 배치되는 공구의 기본입니다. 일반적으로 자동 로더 (automated loader) 또는 수동 로더 (manual loader) 를 사용하여 기계에 빠르고 정확하게 웨이퍼를 로드할 수 있습니다. TENCOR Quantox의 도량형 도구는 모든 기능을 갖춘 마이크로 광학 도량형 자산입니다. 자동 포커스 및 확대 제어 모델을 사용하여 최대 4 개의 웨이퍼를 동시에 측정합니다. 강력한 레이저 광학 (Laser Optic) 은 웨이퍼의 기능을 측정하고, 다중 세그먼트 광학 (Multi-Segment Optic) 은 자동화된 적합성과 마무리를 제공하여 정확한 측정을 보장합니다. 웨이퍼 검사 장비도 강력한 도구입니다. 그것 은 독특 한 광학 "시스템 '을 이용 하여" 웨이퍼' 표면 에 있는 입자 나 다른 이물체 의 존재 를 탐지 한다. 또한 X- 선, 전자 빔 (Electron Beam) 또는 형광 현미경 (Fluorescence microscopy) 과 같은 다양한 탐지 기술이 장착되어 웨이퍼 표면을 자세히 분석 할 수 있습니다. Quantox 의 컴퓨터 제어 장치 (Computer Control Unit) 는 유연성과 사용 편의성을 극대화하기 위해 강력하고 광범위한 제어 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 는 프로세스 매핑, 레시피 데이터 관리, 데이터 분석, 기타 특수 제어 기능 등 다양한 제어 옵션을 제공합니다. PROMETRIX Quantox는 매우 강력하고 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 그것의 특징과 성능은 모든 생산 또는 연구 환경에 완벽한 선택이됩니다. 종합적인 웨이퍼 (wafer) 표면 테스트 및 분석 기능을 제공하여, 생산 비용을 낮추고 일관된 웨이퍼 수율 결과를 보장합니다.
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