판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox 64100 #9281357

KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100은 반도체 웨이퍼의 다양한 기능에 대한 고정밀 측정을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 여러 평면과 기능을 동시에 분석할 수 있으며, 처리 시간 (turnaround time) 을 단축하고 여러 생산 작업에 손쉽게 자동화할 수 있습니다. KLA Quantox 64100은 라인 너비, 피치, 에치 깊이, 증착 두께 등 엄격한 프로세스 제어 매개변수를 측정하도록 특별히 설계되었습니다. 이 장치에는 3D (Integrated 3D) 노이즈 감소 소프트웨어가 내장되어 있어 수동 정렬이 필요 없으며, 밀도 높은 피쳐를 측정할 때 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 광학 도량형 기술 (Optical Metrology Technology) 을 통해 광범위한 매개 변수에 대한 일관된 측정 결과를 보장합니다. TENCOR Quantox 64100에는 높은 처리량을 유지하면서 정확한 측정과 오류를 최소화하는 업계 최고의 SNR (signal-to-noise ratio) 이 장착되어 있습니다. 이 기계는 다양한 숫자 조리개 (NA) 목표를 통합합니다. 즉, 작은 피쳐를 측정하기 위해 빠르게 조정할 수 있으며, 여러 평면 또는 겹치는 피쳐가있는 어레이를 의미합니다. 다른 기능으로는 저소음 탐지기 (Low-Noise Detector) 가 있으며, 최대 정확도와 다른 깊이에서 기능의 고해상도, 고대비 이미지 캡처가 있습니다. 또한, 이 도구는 향상된 빔 경로 (enhanced beam path) 와 같은 혁신을 활용하여 측정 정밀도를 향상시키고 LED 조명을 통해 표본에 걸친 보다 정확한 측정을 위해 균일 한 조명을 제공합니다. PROMETRIX Quantox 64100은 또한 DLC (Dynamic Lens Compensator) 와 LSP (Lens Scattered Path) 보상 기술을 통합하여 장거리 근로 및 비정상적인 경로 현상을 줄입니다. 또한, 자산에는 자동, 다차원 피쳐 인식을위한 EDEN 기능 측정 소프트웨어가 제공되어 측정 시간이 크게 단축됩니다. 전체적으로 Quantox 64100 은 엄격한 프로세스 제어가 필요한 애플리케이션에 특별히 최적화된 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 고급 노이즈 감소, 향상된 빔 경로 (beam path), 균일한 조명, DLC 기술 및 다차원 기능 인식 (multi-dimensional feature recognition) 과 같은 기능을 갖춘 이 장비는 오늘날의 첨단 기술 산업의 요구에 부합하는 일관되게 정확한 고정밀 결과를 제공합니다.