판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox 64100 #9230282

KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100 Wafer Testing and Metrology System은 전체 자동 테스트 및 도량형 시스템을 하나의 통합 시스템으로 결합하는 포괄적인 자동화 플랫폼입니다. 이 제품은 다른 웨이퍼 재료와 기술에 대해 fab-to-fab의 완벽한 웨이퍼 레벨 프로세스 기능을 제공합니다. KLA Quantox 64100을 사용하면 고해상도 이미징, 결함 감지, 웨이퍼 레벨 측정, 수율 분석 등을 통해 웨이퍼 품질을 정확하게 평가할 수 있습니다. TENCOR Quantox 64100 (TENCOR Quantox 64100) 은 결함을 감지하고 보고하기 위해 설계된 통합 이미징 및 도량형 시스템으로, 탁월한 프로세스 안정성과 반복성을 제공합니다. 1 축 및 4 축 이미징 시스템, 자동 결함 검토 기능 및 다양한 광학 분광계가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 매핑 도구, 풀 컬러 이미징, 자동 초점, 고급 대비 제어 및 자동 도량형 측정 도구가 특징입니다. 이를 통해 사용자는 최대 3차원 ROM, RPO 및 WLG 값의 매개변수를 통해 토지를 정확하게 측정할 수 있습니다. Quantox 64100 에는 이미징 및 도량형 시스템 외에도 데이터 분석 툴이 포함되어 있습니다. 테스트 및 도량형 시스템에서 수집한 데이터를 자동으로 통합된 분석 (Integrated, Automated Analysis) 기능을 통해 프로세스에 대한 더 깊은 웨이퍼 수준의 이해를 지원합니다. 이 데이터 분석 제품군을 사용하면 수율/처리량 보고서, 고급 분석 시각화, 예측 차트 등을 생성할 수 있습니다. PROMETRIX Quantox 64100은 쿼츠, 실리콘, 폴리 실리콘, 사파이어, 세라믹 등 다양한 기판에서 웨이퍼를 검사, 테스트 및 측정 할 수 있습니다. 또한 최고의 해상도와 정확성을 필요로 하는 전문 어플리케이션을 위해 다양한 고급 옵션 (예: 향상된 비전, 결함 인식 소프트웨어) 을 제공합니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100 은 가동 시간을 최대화하고 신속한 전환 시간을 제공하도록 설계되어, 변화하는 프로세스 요구 사항에 맞게 구성을 신속하게 교체할 수 있습니다. 또한 고급 원격 모니터링 및 제어 기능을 통해, 자동화된 유지 관리 루틴과 진단 (diagnostic) 지원을 제공합니다. 전체적으로 KLA Quantox 64100은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 포괄적이고 자동화된 플랫폼입니다. 완벽한 웨이퍼 레벨 프로세스 제어, 고급 이미징 및 도량형 시스템, 강력한 데이터 분석 툴을 제공합니다. 최대 가동 시간 (uptime) 및 높은 처리량 (throughput) 을 제공하여 광범위한 기판에 걸친 웨이퍼를 빠르고 안정적으로 분석할 수 있습니다.