판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX P22 #9188384
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판매
ID: 9188384
웨이퍼 크기: 8"
Automated surface profilometer, 8"
Automated wafer handler
Open loader for 8"
Computer controlled
Scan method: Moving stage, stationary stylus
Scan length: 205mm (8")
Scan speed: 1 μm/sec to 25 mm/sec (0.04 mil/sec to 1 in/sec)
Sampling rate: 50, 100, 200, 500, 1000 sample/sec nominal
Vertical ranges
Resolution:
±3.2 μm / 0.5 Å (±0.13 mil/0.002 μin)
±13 μm / 2 Å (±0.51 mil/0.008 μin)
130 μm / 10 Å (±5.1 mil/0.04 μin)
Vertical linearity: ±0.5% above 2000 Å, 10 Å below 2000 Å
Stylus control: Programmable force
MHII range: 0.05-50 mg
Resolution: 0.1 mg
Programmable descent rate
Dual view optics
Side view optics: 150-600x
Top view optics: 185-750x and 300-1200x (with user interchangeable lens)
Operations manual.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P22는 테스트 및 검사 프로세스의 정확성과 반복성을 향상시키기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 비전 (vision), 정렬 (alignment), 측정의 조합을 제공하여 반도체 부품과 웨이퍼의 품질 보증을 크게 향상시킵니다. 이 장치의 핵심에는 터비 나 광학 플랫폼 (Turbina Optics Platform) 이 있습니다. 터비 나 광학 플랫폼 (Turbina Optics Platform) 은 전통적인 이미지와 웨이퍼 및 테스트 기능의 3 차원 입체 이미지 모두에 대한 고속 이미지 처리 및 분석을 제공합니다. 이 플랫폼은 업계 표준의 2 배 이상인 시간당 최대 265 개의 웨이퍼 (wafer) 를 신속하게 인식하고 분석할 수 있습니다. 또한 가장 기본에서 최첨단 (Advanced) 에 이르기까지 다양한 비전 시스템을 지원합니다. KLA P22에는 고급 웨이퍼 결함 검사 기능도 있습니다. 여기에는 단일 웨이퍼에서 최대 5,000 개의 잠재적 결함을 인식하고 분류 할 수있는 자동 결함 검사기 (automated defect inspection machine) 가 포함됩니다. 이 기능은 웨이퍼 도량형 (wafer metrology) 기능에 추가되며, 이 도구는 웨이퍼, 장치 특성 및 있을 수 있는 기타 모든 기능을 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 모든 웨이퍼를 가장 정확하고 정밀하게 테스트하고 검사할 수 있습니다 (영문). TENCOR P22에는 웨이퍼 테스트 및 검사 프로세스를 단순화하는 직관적인 사용자 인터페이스가 있습니다. 사용자는 다양한 테스트 (test) 및 측정 (measing) 설정 중에서 선택하여 자산을 필요에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 고급 데이터 분석 (advanced data analysis) 기능을 지원합니다. 데이터는 신속하게 평가되고 프로세스 제어 및 제품 생산량을 향상시키는 데 사용됩니다. 전반적으로, P22 (P22) 는 테스트 및 검사 프로세스의 정확성과 반복성을 향상시키려는 사람들에게 이상적인 장비입니다. 고급 비전, 정렬, 측정, 결함 인식 기능을 통해, 이 시스템은 최고의 수준의 제품 품질, 신뢰성을 보장할 수 있습니다.
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