판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX P16 #9358967

KLA/TENCOR/PROMETRIX P16은 다양한 웨이퍼 및 다이 특성에 대한 포괄적이고 정확한 데이터를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA P16은 고유 한 광 신호 획득 시스템 (KLA OptiTrac) 을 사용하여 에지 검증, 박막 도량형, 결함 검사, 프로세스 제어 및 입자 크기 도량형을 포함한 다양한 고해상도 분석 기능을 제공합니다. TENCOR P-16의 OptiTrac 장치에는 운동학적 스캔, 동적 스캔, 이중 빔 이미징, 정밀 이미징 등 4 가지 고급 감지 및 캡처 기술이 통합되어 있습니다. 기계는 미크론 스케일 필름 두께 세부 (micron-scale film thickness details) 를 포함하여 많은 광학 신호를 동시에 얻을 수 있으며, 다양한 샘플에 걸쳐 정확한 입자 크기 및 결함 검출이 가능합니다. 이는 정확한 결함 특성화 및 프로세스 제어를 위한 광범위한 데이터 세트를 제공합니다. PROMETRIX P16은 100 밀리미터 웨이퍼 (wafer) 의 면적에 큰 샘플을 통합하고 표준 검사 및 도량형 작동을위한 3 개의 광 모듈을 제공합니다. 또한, 이 도구에는 결함 기능, 입자, 도펀트 및 관통하는 물리적 필름의 고해상도 이미징을 가능하게하는 고급 현미경 모듈이 포함되어 있습니다. 또한 P16에는 TENCOR Enhanced Defect Detection Software (EDDS - CATS) 의 고유 변형이 포함되어 있습니다. 이를 통해 KLA/TENCOR/PROMETRIX P-16은 로컬 영향 기능뿐만 아니라 서브 미크론 결함을 인식하고 분류 할 수 있습니다. 이것은 강력하고 반복 가능하며 정확한 결함 평가와 특성을 제공합니다. 또한 P-16 에는 사용자의 데이터 분석 프로세스 속도를 높여주는 다양한 사용자 친화적 (user-friendly) 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 강력한 샘플 추적 자산, 웨이퍼 방향 지정 기능, Python 스크립팅, 보고서 템플릿 및 데이터 내보내기 기능이 포함됩니다. KLA P-16 의 모든 구성 요소는 신뢰성을 극대화하고 장기간 반복 (repeat-ability) 할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 PROMETRIX P-16 모델은 업계 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 광범위한 포괄적이고 정확한 데이터 솔루션을 제공합니다. TENCOR P16은 고급 감지 및 캡처 기술, 통합 샘플 영역 (sample area), 정교한 결함 감지 소프트웨어 (defect detection software) 를 통해 웨이퍼 및 다이 개발에 대한 신뢰할 수 있고 포괄적인 통찰력을 제공합니다.