판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9292848
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KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H Wafer Testing and Metrology Equipment는 반도체 산업의 웨이퍼 검사 및 도량형을위한 최첨단 기계입니다. 그것 은 "웨이퍼 '표면 에서 오염 물질, 결함," 스트레스' 및 기타 질 의 문제 들 을 탐지 할 수 있게 해 주는 포괄적 인 도구 들 을 제공 한다. 이 시스템에는 소형 (1-2mm) 에서 대형 (18-20 인치) 까지 전체 범위의 웨이퍼 크기를 수용 할 수있는 200mm 또는 300mm 직경의 대형 스테이지가있는 웨이퍼 검사 스테이션이 포함되어 있습니다. 검사 스테이션에는 고해상도 광학 현미경, 고감도 컬러 CCD 카메라, 웨이퍼 이미징 및 분석을위한 고급 광학 소프트웨어 (Optical Software) 가 있습니다. 이 장치에는 또한 두께, 평평함, 모서리 모양, 피치 정확도 등 웨이퍼의 다양한 특성을 측정하기위한 도량형 챔버 (metrology chamber) 가 포함되어 있습니다. 가장 정확한 측정을 위해 3D 스캐닝 (scanning) 및 웨이퍼 두께 측정 (wafer thickness measurements) 을 포함한 여러 응용 프로그램에 많은 프로브 및 도량형 단계를 사용할 수 있습니다. KLA P-20H는 검사 및 도량형 외에도 고급 결함 감지 및 분류 기능도 갖추고 있습니다. 비파괴 영상 (non-destructive imaging), 열 분석 (thermal analysis), 전송 전자 현미경 (transmission electron microscopy) 과 같은 다양한 기술을 사용하여 웨이퍼의 결함을 감지하고 식별 한 다음 분류합니다. 또한 개별 영역을 강조하여 추가 검사를 수행하고 결함 패턴에 대한 자세한 엔지니어링 보고서를 생성할 수 있습니다 (영문). TENCOR P20H에는 ESD 보호, 액티브 냉각, 진동 격리, 다양한 접촉 및 비접촉식 (non-contact) 청소 솔루션 등 인력과 장비 모두에 대한 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. KLA P20H는 다양한 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형 어플리케이션에서 신뢰성과 정확성을 보장하기 위해 엄격한 안전 및 성능 테스트를 통과했습니다. PROMETRIX P20H Wafer Testing and Metrology Machine은 반도체 산업의 웨이퍼에 대한 종합적인 테스트 및 분석을 제공하는 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 첨단 기능 및 기능을 갖춘 P-20H 는 일관성 있는, 고품질의 제품 성능과 안정성을 보장하는 데 적합합니다.
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