판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9188378

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H는 반도체 웨이퍼를 검사하기 위해 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 빠른 청소실 테스트 결과를 위해 포괄적 인 2D 도량형 기능을 수행하는 자동 도량형 (Metrology) 시퀀스가 특징입니다. 이 시스템에는 고속 전동 단계, 모델 기반 알고리즘 및 특징 크기와 형태에 대한 2 차원, 멀티 센서 탐지가 장착되어 있습니다. KLA P-20H는 단계 높이, 모든 기판의 CD 프로파일, 오버레이, 전기 매개변수 등을 측정 할 수 있습니다. 이 장치에는 광학 현미경이 장착되어 있으며, 고품질 이미징을 위한 밝은 흰색 조명 LED 모듈 (White Light LED Module) 이 포함되어 있습니다. 5 배 (5X) 에서 50 (50X) 범위의 객관식 렌즈도 사용할 수 있으며, 다양한 확대 및 작은 기능에 더 중점을 둡니다. 또한 TENCOR P20H (Auto-Sampling Stage) 는 시간당 최대 200 웨이퍼의 속도로 정확하고 신속한 도량형을 보장하는 자동 샘플링 단계를 활용하여 빠른 속도로 생산할 수 있는 탁월한 솔루션입니다. 이 시스템에는 자동 보고서 생성, 직관적인 사용자 인터페이스, ANSI 표준 호환 결함 검사 소프트웨어, 사용자 정의 가능한 매개변수 설정 라이브러리, CD 프로파일 상세 분석 등 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 또한 KLA P20H는 여러 웨이퍼 처리 기술 (즉, 쿼츠, 파일론, 야외 척) 과 다양한 비전 기반 도량형 기술 (예: VIS, SPL, SEM, AFM, X-Ray) 을 통합하여 지원합니다. 또한, P20H 툴은 E-AIMS 엔터프라이즈 시스템과 완벽하게 호환되며, 매우 상세한 맞춤형 데이터 보고서와 완벽하게 통합됩니다. 또한, 일반 PC에서 쉽게 자산을 시운전할 수 있으며, 설치 전문가와 관련된 수퍼 플루즈 (superfluous) 비용을 없앨 수 있습니다. 결론적으로, P-20H 는 테스트 처리량과 정확도를 극대화하는 고성능, 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 모델로, 다양한 애플리케이션에 이상적인 제품입니다. 이 장비에는 고급 옵틱, 자동 보고서 생성, 직관적인 사용자 인터페이스, 다중 웨이퍼 처리 기술 지원, 다양한 비전 기반 도량형 기술이 장착되어 있습니다. 또한, 이 시스템은 E-AIMS 엔터프라이즈 시스템과의 호환성으로 인해 탁월한 수준의 유연성과 통합 기능을 제공합니다.