판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9111707
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ID: 9111707
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Surface profiler, 8"
Options: SECS / GEM
Wafer shape: Semi Notch No Flat (SNNF)
Cassette port
MIRAIAL KM-803P-K Wafer cassette, 8" PP
PC
Micro head 1 LF sensor
Open handler, 8"
STAR JR-100 Graphic printer
No SMIF
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H Wafer Testing and Metrology Equipment는 자동화된 고정밀 도량형 시스템으로, 다양한 중요한 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 정교한 설계와 고급 소프트웨어 아키텍처 (Advanced Software Architecture) 를 제공하여 다양한 측정 작업을 정확하고 빠르게 수행할 수 있습니다. KLA P-20H는 일련의 직접 구동 단계를 사용하여 표면 및 복합 도량형 측정에서 최고의 정밀도를 제공합니다. 스테이지에는 고속, 고해상도 성능을 위해 리드 스크루 및 선형 인코더/서보 모터가 장착되어 있습니다. 스테이지는 또한 낮은 무게 중심 (low center of gravity) 으로 설계되어 드리프트 (drift) 없이 안정적인 측정을 보장합니다. TENCOR P20H에는 강력한 이미지 인식 머신과 최첨단 광학 이미징 기능이 있습니다. 이 복잡한 통합 고급 기술 패키지 (integrated package of advanced technologies) 를 통해 더욱 정확하고 신뢰성을 갖춘 샘플 서피스를 측정할 수 있습니다. 이 도구는 최대 6 대의 카메라로 구성 할 수 있으며, 이는 탁월한 에지 인식 기능을 제공 할 수 있습니다. 이미지 획득 및 분석 (analysis) 프로세스는 완전히 자동화되어 보다 빠른 샘플 측정 주기와 향상된 정확도를 제공합니다. P-20H는 복잡한 지형을 포함한 다양한 샘플 크기와 모양을 위해 설계되었습니다. 에셋을 사용하면 임계 치수 (CD), 오버레이 및 기타 3D 도량형 기능을 포함한 다양한 측정이 가능합니다. 또한이 모델은 또한 웨이퍼 대 웨이퍼 및 웨이퍼 대 마스크 정렬 측정을 위해 설계되었습니다. KLA P20H는 견고한 디자인과 다양한 고급 기능을 제공합니다. 또한 정적 (static), 고해상도 (high resolution), 저해상도 (low resolution) 등 세 가지 측정 모드를 제공합니다. 정적 모드에서 KLA/TENCOR/PROMETRIX P20H는 다른 도량형 솔루션보다 더 빠른 데이터 샘플을 수집 할 수 있습니다. 고해상도 (High Resolution) 모드에서 장비는 더 높은 정확도와 반복성으로 샘플 데이터를 수집 할 수 있습니다. 마지막으로, 저해상도 (low resolution) 모드에서 시스템은 이미지 품질이 향상된 저소음 이미지를 제공합니다. PROMETRIX P-20H (PROMETRIX P-20H) 는 측정 결과와 데이터 아카이빙 및 보고서 생성 기능에 대한 실시간 피드백을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 다양한 Wafer 테스트 및 검사 프로세스를 지원합니다. 정확도, 안정성, 고속 성능, 고급 기능의 조합으로, 정확한 웨이퍼 측정값을 달성하기에 이상적인 솔루션입니다.
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