판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75 #9190988
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판매
ID: 9190988
빈티지: 1997
Resistance mapping system
Measurement range: <5 mΩ/sq - >5MΩ/sq
Appropriate probe head: <0.2% (1σ)
Manually loaded single wafer: ≤60 seconds
Typical measurement time: 49-site test
Measurement capabilities:
Routine check: 1-30 sites programmable (ASTM standard tests included)
XY Map: 1,200 sites programmable
Single/Dual configuration capability
Analysis capabilities:
Contour/3D map: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Probe qualification test: 20 sites, programmable radius
Calibration curves for low-dose monitoring
File editing/data extraction capability
Average difference/ratio maps
Trend/SQC charts
Histograms
Data transfer: SECS II/RS232 Communication (Data upload)
Precision probe heads:
40 mil Probe spacing: 100 gm loading
Tip radius: 1.6, 4, 8 and 20 mil
25 mil Probe spacing: 100 gm loading
Tip radius: 1.6, 4, and 8 mil
62.5 mil Probe spacing: 200 gm loading
Tip radius: 1.6 mil
High-speed tester accommodates all standard wafer diameters
in thicknesses up to 2 mm: 2, 3, and 3.25 in; 100, 125, 150 and 200 mm
Includes:
High-resolution color monitor
1.4 MB, 3.5" floppy drive
Fixed hard drive
Line conditioner
EMO Circuitry
Pentium computer
1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75는 정확성과 속도로 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 및 기타 기판에서 비파괴 테스트 및 도량형을 빠르고 정확하게 수행 할 수 있습니다. 최첨단 KLA Omnimap RS-75에는 고해상도 반사 방지 코팅 비디오 카메라가 있으며, 이는 웨이퍼의 표면과 가장자리를 관찰하고 측정하는 데 사용됩니다. 고급 옵틱 및 카메라 해상도는 더 선명하고, 더 자세한 이미지와 정확한 측정을 제공합니다. 이미지 분석 (image analysis), 이미지 저장 (image storing), 이미지 처리 (image processing) 등의 작업을 수행할 수 있는 고급 소프트웨어 패키지가 제공되어 웨이퍼의 표면 및 가장자리를 빠르고 효율적으로 검사할 수 있습니다. 고해상도 반사 방지 코팅 비디오 카메라 외에도 TENCOR OMNIMAP RS75에는 매우 정확한 양면 100äm 크기 해상도 웨이퍼 센서가 포함되어 있습니다. 이 "센서 '는 정밀도 가 높고 정확도 가 높으며" 웨이퍼' 의 양면 을 주사 할 수 있으므로 외국 입자, 굴, 표면 불규칙성 을 식별 할 수 있다. 이 장치에는 구성 가능한 스캔 패턴 (scan pattern) 이 장착되어 있어 유연성과 사용 편의성이 뛰어납니다. PROMETRIX Omnimap RS-75에는 강력한 스캐닝 모터와 스캔 알고리즘이 기본으로 제공됩니다. 이를 통해 기계는 x-y-z 축으로 기판을 정확하게 스캔하고 Z축을 중심으로 기판을 회전시킬 수 있습니다. 이를 통해 빠르고 효율적인 분석 및 처리 (processing) 를 통해 기판을 종합적으로 평가할 수 있습니다. TENCOR Omnimap RS-75의 유연성과 정확성은 탁월한 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 첨단 구성과 기능을 통해 업계 품질 관리 (CRC) 및 검사 작업을 위한 완벽한 선택이 가능합니다. 자산의 직관적인 인터페이스 (interface) 를 통해 사용이 간편해지고, 조직에서 효율적이고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 모델을 제공합니다.
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