판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75/TCA #9260211

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75/TCA는 반도체 산업의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 개발 된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 고급 시스템은 더 낮고 높은 생산 부하에서 최대 10 "웨이퍼 항목에 대해 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 웨이퍼 레벨 테스트 및 도량형 서비스를 제공합니다. 이 제품은 다양한 표면 특징과 결함을 정확하게 측정하고 매핑할 수 있는 고급 (advanced) 광 설계를 사용합니다. 이 장치에는 RS-75 Wafer Mapping Machine, TCA Mapping Tool 및 KLA Omnimap과 같은 웨이퍼 분석을 위해 고유하게 설계된 여러 모듈이 있습니다. RS-75는 웨이퍼 구별/매핑, 다이 투 다이 검사를 위해 특별히 설계되었으며, 로봇 보조 자동 로딩 및 언로드를 제공합니다. 접촉이없는 정확한 위치 정확도를 제공하는 정밀 제작 선형 인코더가 있습니다. TCA 매핑 자산 (TCA Mapping Asset) 은 RS-75 웨이퍼에서 다이-투-다이 정렬에 대한 패턴 인식을 가능하게하며 적절한 결함 감지 및 공격에 대한 정량 분석 모델을 갖습니다. 반면 TENCOR 옴니맵 (TENCOR Omnimap) 은 웨이퍼 및 서브 다이 레벨에서 결함 검사 및 분석을 최적화하며, 힐록, 스트레스 릴리프 패턴 결함, 작은 블로치와 같은 여러 유형의 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 장비에는 테스트 및 도량형을위한 종합적인 하드웨어/소프트웨어 제품군이 장착되어 있습니다. 여기에는 분석 공정 계획을 수립하기위한 프로그래밍 시스템, 고해상도 이미지 캡처를 용이하게 하는 고해상도 이미징 헤드 (High-Resolution Images Head), 보고서 내보내기 및 표시를 위한 데이터 획득 및 분석 도구 라이브러리 (Library of Data Acquisition and Analysis Tools) 가 포함됩니다. 전반적으로 KLA Omnimap RS-75/TCA는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 (metrology) 에 적합한 선택이며, 와퍼에 대한 종합적인 테스트 및 분석을 제공하는 다양한 기능을 제공합니다. 광범위한 하드웨어/소프트웨어, 강력한 데이터 분석을 통해 최적의 정확성과 반복 가능성을 보장합니다.