판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9276304

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC는 고급 광학 탐지 기술을 사용하여 제조 공정 중과 후에 웨이퍼의 품질을 테스트하는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 최대 200mm 크기의 웨이퍼를 검사하고 0.25um까지 기능을 측정하도록 설계되었습니다. 이 장치는 반음계 공백 스캐닝 (chromatic confocal scanning) 기술을 사용하여 웨이퍼의 고해상도 3D 맵을 생성하고 웨이퍼 전체에 걸쳐 피쳐의 높이를 정확하게 측정하고 광학 간섭 이미징 (optical interference imaging) 을 통해 평탄도와 웨이퍼 거시 지형을 신속하게 검사합니다. 이 기계는 또한 동력 화 된 XY 서브 시스템 및 레이저 다이오드 광원을 사용하여 0.5m 해상도의 하이브리드 표면 형태 측정 (hybrid surface morphological measurement) 을 달성하는 단면 거친 도량형 도구를 갖추고 있습니다. 자산은 자동화된 웨이퍼 (Wafer) 처리 모델과 다양한 웨이퍼 (Wafer) 상호 작용 옵션을 통해 운영 환경에 완벽하게 자동화되고 통합되도록 설계되었습니다. 이 장비는 산업 등급 프로세스 제어 (industrial grade process control) 기능을 제공하여 여러 프로세스를 모니터링하고 피드백을 제공하여 최적의 프로세스 조건을 유지합니다. 이 시스템은 실시간 웨이퍼 품질 평가를 제공하며, 결함을 파악하고 프로세스 균일성을 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 고급 데이터 기반 분석 보고 (Analysical Reporting) 기능을 통해 지속적인 개선을 위해 사용할 수 있는 프로세스 추세를 파악할 수 있습니다. RS-55TC는 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 및 도량형 소프트웨어 (metrology software) 로 사전 프로그래밍되므로 특정 응용 프로그램에 따라 다른 테스트 결과를 제공 할 수 있습니다. 그것 은 "실리콘 '," 갈륨' 비소, 탄화 "실리콘 '과 같은 여러 가지 재료 로 만든" 웨이퍼' 를 처리 하도록 프로그램 될 수 있다. 이 기계는 또한 자격을 갖춘 웨이퍼를 식별하고 좋은 수율을 보장 할 수있는 Smart Binning 알고리즘을 통합합니다. 요약하면, KLA OMNIMAP RS-55/TC는 세계 반도체 시장의 요구를 충족시키기 위해 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 이 자산은 고급 광학 탐지 기술 (Optical Detection Technology) 을 사용하여 기능을 0.25um까지 측정하고 산업 등급 프로세스 제어 기능을 제공하여 최적의 프로세스 조건을 유지합니다. 각기 다른 응용프로그램, 재료에 대해 다른 테스트 결과를 제공할 수 있으며, 생산량을 향상시키고 생산량의 낭비 위험을 줄일 수 있는 스마트 비닝 (Smart Binning) 알고리즘을 통합했습니다.