판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9263096

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC는 반도체 장치를 포함한 다양한 재료에 대해 정확하고 반복 가능한 측정을 수행하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. RS-55TC는 강력한 광학 현미경으로, 장치 기능의 고해상도 측정, 결함 감지, 분석 기능을 제공합니다. RS-55TC의 플랫폼에는 고해상도, X-Y-Z 스캔 시스템 및 웨이퍼 다이 (Wafer Die), 마이크로 디스크 (Micro-Disk) 및 기타 기판의 비접촉 측정을 위한 고해상도 회전 스캔 단계가 포함 된 크고 안정적인 단계가 포함됩니다. 또한, 이 장치에는 정교한 샘플 포지셔닝 머신 (Sample Positioning Machine) 이 장착되어 있어 Probe 포인트를 정확하게 정렬하고 배치할 수 있습니다. RS-55TC는 고급 레이저 간섭 도구 (Advanced Laser Interferometry Tool) 를 사용하여 전례없는 30 나노미터 정확도로 표면 이상을 측정하고 필름 두께, 스텝 높이 편차, 선 너비 변화 등의 중요한 매개변수를 측정할 수 있습니다. RS-55TC 에셋에는 지능형 진단 (Intelligent Diagnostics) 기능이 내장되어 있어 잠재적인 이상치 (Outlier) 및 결함이 있는 구성 요소를 안정적으로 감지할 수 있으며, 테스트된 웨이퍼 수율도 높습니다. 데이터 수집, 분석, 보고를 위한 통합 소프트웨어가 모델과 함께 포함되어 있으며, 도량형/성능 보장을 위한 확장된 기능을 제공합니다. 이 장비는 추가 모니터링 기능을 위해 다른 KLA 시스템과 연결될 수 있으며, 또한 최고의 유연성과 포괄적인 자동화된 프로세스 제어 (automated process control) 를 위해 다른 제어 시스템과 연결될 수 있습니다. KLA OMNIMAP RS-55/TC는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 장치 기능을 측정하고 결함을 분석하는 데 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 통합 소프트웨어와 결합된 유연성 있는 플랫폼 (Flexible Platform) 은 포괄적인 테스트, 측정, 데이터 수집 장치 (Data Gathering Unit) 를 제공하며, 모두 프로세스 최적화 및 성능 보장에 필요한 필수 요건입니다.