판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55C #9362896

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55C는 높은 생산성과 우수한 품질의 측정을 위해 설계된 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 웨이퍼의 전기적, 광학적 특성을 특징짓기 위해 저항성 (Resistivity), 필름 두께 (Film Thickness), 도핑 측정 (Doping Measurement) 과 같은 포괄적인 프로세스 특성 지정 기능이 특징입니다. 이 시스템은 2 개의 스캔 및 도량형 단계 (완전 자동화, 반자동 및 수동 측정 스테이션) 로 구동되며, 이는 200mm에서 300mm 사이의 광범위한 웨이퍼 크기를 제공합니다. 또한 고급 웨이퍼 표면 특성화를위한 서브 미크론 해상도 (sub-micron resolution) 가있는 높은 정확도의 광학 측정 장치를 갖추고 있습니다. RS-55C에는 도량형 및 화학 증발을위한 통합 저 진공 및 다중 가스 스위칭이 장착되어 있습니다. 또한 내장 교정 루틴을 제공하며, 표준 타사 측정 광학 세트와 함께 제공됩니다. 이는 정확하고 반복 가능한 측정 결과를 보장하며, 모든 측정 매개변수가 엄격한 도량형 표준 (stringent metrology standard) 내에 있는지 확인합니다. 또한, 기계는 또한 매우 정밀한 처리를 위해 웨이퍼 (wafer) 표면의 마이크로 기능 및 구조물의 위치를 측정하기위한 고급 사진 음향 탐지 (photo-acoustic detection) 를 제공합니다. 또한 LabVIEW 와 같은 소프트웨어와의 통합 및 간편한 제어 및 모니터링을 위한 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공합니다. 이는 도량형 및 측정 작업을 능률화하고 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 KLA Omnimap RS-55C는 우수하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 설계된 다양한 고급 기능을 제공합니다. 고정밀도 광 플랫폼 (optical platform) 과 최첨단 소프트웨어 (state-of-the-art software) 를 통해 웨이퍼 속성을 매우 정확하게 측정할 수 있습니다.