판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55 #9078008

KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55
ID: 9078008
빈티지: 1997
Resistivity Mapping Systems, 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55는 반도체 산업에 사용되는 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최첨단 (state-of-the-art) 기술을 탑재하여 정밀하고 안정적인 결과를 얻어 프로세스의 생산성, 효율성을 보장합니다. KLA Omnimap RS-55는 대용량 칩 측정 및 프로세스 제어를 위해 특별히 설계되었습니다. 광역 도량형 (Wide Field Metrology) 과 넓은 영역, 고해상도 매핑 (High Resolution Mapping) 측정 등 정교한 이미징 및 광학 검사 기능을 갖추고 있습니다. 이 시스템의 대용량 영역 측정 기능 (Large Area Measurement Capability) 은 사용자가 웨이퍼 (Wafer) 표면의 광범위한 매개변수를 측정해야 하는 위치에서 높은 생산성과 처리량을 제공합니다. 또한 최고의 유연성을 제공하므로 저비용 (LC), 저속 (Low Speed) 스캔, 고속 검색 등을 선택하여 데이터 수집 프로세스를 특정 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다. TENCOR Omnimap RS-55 에서 사용할 이미징 광학 (Imaging Optic) 은 애플리케이션의 요구에 맞게 선택할 수 있으며, 사용자가 사이트, 영역, 라인, 웨이퍼 매핑과 같은 다양한 이미징 모드 중에서 선택할 수 있습니다. 이미징 기능은 다양한 기능으로 향상되어 자동 초점, 자동 가장자리 감지, 빔 모니터링, 비접촉 3D 서피스 프로파일링 등의 웨이퍼 측정 처리를 용이하게 합니다. 이렇게 하면 사용자가 개별 웨이퍼 (wafer) 특성을 일관되고 정확하게 측정할 수 있는 올바른 기능 집합을 얻을 수 있습니다. 정확성 측면에서 PROMETRIX Omnimap RS-55는 1 미크론의 정확도 등급으로 높은 정밀 측정 및 분석 기능을 제공하여 웨이퍼의 마이크로, 나노 스케일 구조 및 특성을 특성화하는 데 높은 정확성을 제공합니다. 또한 저소음 광학 설정 (low-noise optical setup) 및 비접촉 테스트 및 측정을 위한 고급 알고리즘을 통해 스타일러스나 프로브 접촉이 필요 없는 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 사용자가 프로세스 요구에 따라 다양한 옵션 (예: 생산성 향상을 위한 다중 웨이퍼 크기 로딩 시스템, 높은 해상도의 광학 (optic) 을 통해 정확도 향상, 성능 향상을 위한 업그레이드 가능한 스캐닝 기술) 중에서 선택할 수 있습니다. 정확성과 구성성이 뛰어난 Omnimap RS-55는 프로세스 제어 및 대용량 칩 측정에 이상적인 기계입니다.
아직 리뷰가 없습니다