판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55 #293636367

ID: 293636367
웨이퍼 크기: 5"-8"
Resistivity mapping system, 5"-8" Auto wafer transfer.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55는 반도체 제조 공정의 프로세스 제어 및 결함 분석을 위해 설계된 컴퓨터 화 된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 프로세스 제어 및 결함 분석 요구 사항을 위한 턴키 (turnkey) 솔루션을 제공하여 운영자가 운영 관련 문제를 신속하고 정확하게 진단하고 해결할 수 있도록 합니다. 이 장치에는 5 메가 픽셀 이미지 센서가 장착되어 있어 고해상도 이미징 및 고해상도 리소그래피가 가능합니다. 고해상도 이미징 시스템은 sCMOS (Scientific CMOS) 이미징 기술을 활용하여 빠르고 정확하며 반복 가능한 이미징을 제공합니다. 또한, 고장 분석 방법, 결함 격리, 분류, 고장 예측 등의 고급 패턴 일치 (pattern-matching) 기술은 고급 프로세스 제어 및 결함 분석을 위한 도구와 통합됩니다. 이미징 기능 외에도, 자산에는 데이터 획득 및 분석 툴도 포함됩니다. 이 툴은 엔지니어와 엔지니어가 운영 문제를 신속하고 효율적으로 해결할 수 있도록 하는 핵심 성능 지표 (Performance Metrics) 를 제공합니다. 이 모델에는 자동 테스트 계획 생성, 산란 측량, 중요 치수 분석, 데이터 조작 기능 및 결함 분석이 포함됩니다. 생산 효율성을 높이기 위해, 장비는 멀티 사이트 (multi-site) 측정이 가능하며, 이를 통해 여러 웨이퍼를 동시에 측정할 수 있습니다. 즉, 시스템이 완전히 자동화되어 처리량을 극대화하여 운영자가 신속하고 정확하게 작업을 수행할 수 있게 해 줍니다. KLA 옴니맵 (KLA Omnimap) RS-55 는 운영자에게 최고의 품질을 보장하고 생산 비용을 최소화할 수 있는 효율적이고 안정적인 방법을 제공하는 고급 장치입니다. 고급 이미징 기능, 데이터 획득 및 분석 도구, 자동 테스트 계획 생성 (Test Plan Generation), 멀티 사이트 측정 (Multi-Site Measurement) 기능을 갖춘 이 시스템은 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
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