판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-50 #293614908
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-50은 반도체 웨이퍼의 테스트 및 도량형에 사용되는 다기능 자동 장비입니다. 고정밀 광학 및 촉각 기술을 결합하여 정확하고 안정적인 웨이퍼 측정 결과를 제공합니다. RS-50은 다양한 고급 기술을 통해 여러 가지 도량형/테스트 요구 사항을 충족합니다. RS-50은 고급 저광도 이미징 시스템 (low-light imaging system) 과 처리량 (high-throughput) 단계를 결합하여 회선 및 기타 물리적 특성 모두에 대한 매우 높은 해상도의 측정을 제공합니다. RS-50은 이미지 기반 및 비 이미지 기반 측정에 대해 높은 수준의 정확도를 허용합니다. 이는 특정 기능 크기와 벌금, 선 및 기타 비 이미지 기반 측정에 대한 고정밀 (high-precision) 도량형을 요구하는 많은 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 장치는 높은 처리량 및 피드백 기반 자동화를 위해 설계되었습니다. 정밀도는 1 미크론으로 5 "~ 12" 범위의 웨이퍼 크기를 측정 할 수 있습니다. 지능형 웨이퍼 핸들러, 밝은 조명 (근적외선 조명 포함) 및 수차 교정 렌즈가 특징입니다. 다른 기능 중 KLA Omnimap RS-50에는 사용자 친화적, 자동 광학 제어 및 측정 소프트웨어가 포함되어 있어 시야에서 여러 객체를 정확하게 제어할 수 있습니다. RS-50 에는 완전 자동 웨이퍼 핸들러 (Fully Automated Wafer Handler) 가 장착되어 있어 광학 피드백 기술을 통해 샘플의 정확한 배치를 보장합니다. 이는 샘플의 정확한 정렬을 보장하며, 단일 측정 주기 내에서 반복성 (repeatability) 과 데이터 정확도를 극대화합니다. 이 기계는 랩 어라운드 (wrap-around) 또는 다이 에지 (die-edge) 제약이 존재하는 경우에도 가장 어려운 장치에 대한 뛰어난 측정 기능을 가지고 있습니다. RS-50은 다양한 도량형 요구 사항을 충족할 수 있도록 유연성을 극대화하도록 설계되었습니다. 소프트웨어의 프로세스 통합을 통해 신속하고 간편한 자동 레시피 기반 (automized recipe-driven) 도량형이 가능하므로 처리량 및 데이터 품질이 향상됩니다. 첨단 도량형 (Advanced Metrology) 기능은 또한 빠르고 안정적인 측정 결과를 제공하여 엔지니어가 프로젝트의 귀중한 시간과 자원을 절약할 수 있습니다. TENCOR Omnimap RS-50은 반도체 웨이퍼의 테스트 및 도량형을위한 강력하고 다재다능한 도구입니다. 이 자산은 사용자의 정확한 제어, 정확한 측정, 자동화된 고출력 기능을 제공합니다. 반복적이고 신뢰할 수있는 결과와 사용자 친화적 인 특성으로 인해 고정밀 반도체 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형을위한 완벽한 솔루션이 됩니다.
아직 리뷰가 없습니다