판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35C #9211174
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ID: 9211174
웨이퍼 크기: 2"-8"
빈티지: 1996
Resistivity mapping system, 2"-8"
Cassette autoloader
Wafer measures: up to 1264 Sites
Resistance: < 5 mohm/sq to > 5 Megohm/sq
Conductive layers:
Implants
Diffusions
EPI
CVD
Metals
Bulk substrates
Maps:
Contour maps
3-D Maps
Diameter scans
Die maps
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35C는 생산 환경을 위해 특별히 설계된 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다양한 크기와 모양의 웨이퍼를 정확하게 측정하여 효율적인 비파괴 웨이퍼 테스트 (non-destructive wafer testing) 를 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 에서 매우 작은 기능 변형을 감지하여 고품질 제품 생산량을 보장할 수 있습니다. KLA Omnimap RS-35C 장치는 수직 스캐닝 이미지 (VSI) 를 기반으로하는 포괄적 인 광학 도량형 기술을 사용합니다. 고해상도 CCD 카메라와 고급 (Advanced) 알고리즘을 장착하여 웨이퍼 표면을 정확하게 스캔하고 분석합니다. 이렇게 하면 기계가 웨이퍼 서피스에서 결함 (예: 스크래치, 피팅) 을 정확하게 감지할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 웨이퍼 표면에서 필름 레이어의 균일성을 평가하기 위해 고급 박막 두께 (Thin-Film Thickness) 측정을 수행합니다. 자산의 자동 작동 (automated operation) 및 고급 스캐닝 (advanced scanning) 알고리즘을 사용하면 최대 정밀도로 대량의 웨이퍼를 신속하게 처리할 수 있습니다. 또한 얇고 큰 웨이퍼 처리를 위한 자동 정렬 (auto-alignment) 기능과 먼지 오염으로 인한 오류를 방지하는 자동 포커싱 (focusing) 및 발포 제거 (de-foaming) 기능이 있습니다. 또한, 이 모델은 전기 테스트, 라인 너비 측정, 박막 매핑 및 이미지 분석과 같은 다양한 비 파괴 테스트를 수행 할 수도 있습니다. 이 장비는 소형 사용자 친화적 캐비닛에 내장되어 있으며, 25.4cm (25.4cm) LCD 디스플레이를 장착하여 손쉽게 모니터링하고 작동할 수 있습니다. 시스템의 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 구성 및 측정 매개변수를 쉽게 설정하고 선택할 수 있습니다. 또한 임베디드 PC 기능 (옵션) 과 함께 제공되며 기존 자동화 네트워크와 통합될 수 있습니다. TENCOR Omnimap RS-35C 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치는 가장 어려운 운영 환경에서도 높은 안정성과 정확한 웨이퍼 품질 제어를 제공합니다. 비용 효율적이고 빠른 테스트/도량형 (Metrology Operation) 을 통해 고객은 운영 면에서 경쟁력을 확보할 수 있습니다.
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