판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-100 #9174128

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ID: 9174128
Resistance mapping system Open cassettes: 8"-12" Currently installed.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-100 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 최신 반도체 장치의 테스트 및 특성을 위해 설계된 고급 도구입니다. 이 시스템은 최첨단 옵틱 (optic), 고속 프로세서, 정밀 하드웨어를 사용하여 장치 성능 및 신뢰성을 정확하게 측정합니다. 이 장치는 최적화 된 광학 측정 하위 시스템, 고해상도 이미징 하위 시스템 및 고정밀 액추에이터 하위 시스템으로 구성됩니다. 광학 하위 시스템에는 저소음 레이저 소스, 고속 선형 모터 및 정확한 웨이퍼 정량 알고리즘이 포함됩니다. 이를 통해 소음 수준이 낮은 웨이퍼의 정확한 고해상도 프로파일링이 가능합니다. 이미징 하위 시스템에는 고해상도 카메라, 고급 이미지 처리 알고리즘 및 정확한 샘플 도량형 도구가 포함됩니다. 액추에이터 서브 시스템은 고속 재료 처리 및 정밀 동작 제어를 위해 마이크로 액추에이터 (micro-actuator) 및 서보 모터 (servo motor) 배열을 사용합니다. KLA Omnimap RS-100은 고속, 매우 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형이 가능합니다. 고급 비전 (Advanced Vision) 및 측정 (Measurement) 소프트웨어가 장착되어 있어 여러 프로그래밍 가능한 중첩 뷰 포인트와 설정을 사용할 수 있습니다. 기계에는 두께 (thickness), 임계 치수 (critical dimension), 서피스 거칠기 (surface roughness) 및 해당 웨이퍼의 여러 재료 특성을 획득하고 분석하는 기능이 있습니다. 이 정보를 사용하면 수율 정보를 신속하게 파악할 수 있으므로 마이크로프로세싱 (microprocessing) 문제와 근본 원인 평가를 신속하게 파악할 수 있습니다. 이 도구는 또한 현장 검사, 실시간 시각화, 사용자 정의 및 업그레이드 가능한 Probing 기술, 정확하고 안정적인 생산 품질 제어와 같은 수많은 추가 기능을 제공합니다. 또한 RS-100 은 완벽한 추적 가능성 (Traceability) 및 문서화 기능을 제공하여 데이터 및 프로세스 지표를 완벽하게 제어할 수 있습니다. TENCOR Omnimap RS-100은 강력하고 다재다능한 자산으로, 반도체 웨이퍼 테스트 및 도량형에 대한 매우 정확한 측정을 제공합니다. 다중 서브시스템, 고급 비전 (advanced vision) 및 이미지 처리 알고리즘 (image processing algorithm), 정확한 동작 제어 (motion control) 를 활용하면 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
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