판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap Auto RS-55/TC #293793902

KLA Omnimap Auto RS-75/TC는 반도체 웨이퍼의 검사 및 측정에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 최대 200mm x 150mm 의 시야를 통해 직경 200mm 의 웨이퍼를 스캔할 수 있습니다. 오퍼레이터 지원 없이 웨이퍼를 로드, 언로드할 수 있는 자동화된 샘플 로더 (sample loader) 를 장착했다. 이 장치는 3 차원 운동 범위로 나노 스케일의 웨이퍼를 특성화하도록 설계되었습니다. 높이, 두께, 오버레이 정밀도 등 다양한 형상을 측정할 수 있습니다. RS-75/TC는 가변 초점, 가변 이미지 크기, 가변 레이저 강도, 가변 레이저 초점 등 다양한 프로빙 매개변수도 지원합니다. 이 기계는 4 가지 초점 최적화 채널로 정확하고 빠른 결과를 제공하도록 설계되었으며, 이 툴을 통해 동급 최고의 웨이퍼 (wafer) 특성을 구현할 수 있습니다. FFT, Line scan 및 Vector scan 등 다양한 스캔 모드를 통해 검사를 수행 할 수 있습니다. 또한, 자산은 모델 받침대 인쇄 감소로 고속에 최적화되어 있습니다. 또한 RS-75/TC 에는 프로그램 작성, 조정, 유지 보수 후 문제 해결이 용이한 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 매크로 프로그래밍 가능한 웨이퍼 초기화 및 완료 스캐닝을 특징으로하며 복잡한 2 차원 및 3 차원 프로그램도 수용 할 수 있습니다. 또한 이 장비에는 백엔드 매핑 (back-end mapping) 소프트웨어가 장착되어 있어 수백만 픽셀의 데이터를 하나의 맵에 분석, 저장, 평가할 수 있습니다. RS-75/TC 는 고급 제어 및 자동화 기능을 제공하여 운영 단순화, 장애 모드 (failure mode) 검색 및 보고, 유지 보수 비용 및 운영 주기 시간을 단축합니다. 또한 TCO (총소유비용) 가 낮아 자동화된 교정 (calibration) 및 신뢰할 수 있는 자체 진단 (self-diagnostics) 과 같은 고급 도구를 제공하여 시스템이 최소한의 운영자 개입으로 최적으로 작동할 수 있도록 합니다. 결론적으로, TENCOR Omnimap Auto RS-75/TC는 안정적이고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형으로, 동급 최고의 결과를 제공하고 잠재적 장애 모드를 신속하게 감지하도록 설계되었습니다. 자동 (automated) 프로세스를 통해 비용과 운영자의 개입을 최소화하고, 고급 스캐닝 기술과 소프트웨어를 제공하여 운영 단순화, 신속한 측정, 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.