판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9265331

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300은 고급 레이저 간섭 기법 및 메트릭을 사용하여 웨이퍼 전체의 중요한 크기 및 기능 프로파일을 측정하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 임계 치수 측정 (critical dimensional measurement) 을 제공하여 수율 증가와 스크랩 비용 절감을 허용합니다. KLA M-Gage 300의 레이저 간섭 단위는 나노 미터의 정확도로 우수한 임계 치수 측정을 가능하게합니다. 그것 은 여러 "주파수 '의" 레이저' 광선 을 "웨이퍼 '에서 촬영 함 으로써 작동 되는데, 그" 레이저' 광선 은 다시 기계 "센서 '에 반사 된다. 반사광의 위상을 분석함으로써, TENCOR M-Gage 300은 웨이퍼 상의 피쳐와 치수의 정확한 위치를 결정할 수 있습니다. M-Gage 300 (M-Gage 300) 은 도량형 측정에서 매우 정확하고 신뢰할 수 있도록 설계되었으며, 정확도에서 완전한 추적 가능성을 제공합니다. 비파괴적 (non-destructive) 측정은 피쳐를 측정하기 위해 웨이퍼를 깨야 하며 2축 정렬 (two-axis alignment) 도구를 통해 빠른 웨이퍼 로딩을 허용하고 처리량을 늘릴 필요가 없습니다. 또한, 이 자산은 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스와 함께 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 즉, 신속하고 직관적인 작업을 수행할 수 있고, 기간별 작업 데이터를 편리하게 액세스할 수 있습니다. PROMETRIX M-Gage 300 또한 다른 시스템 및 네트워크에 연결하여 쉽게 통합 및 데이터 공유할 수 있습니다. 마지막으로, 이 모델은 운영 수명이 길며, 에너지 효율이 높도록 설계되었습니다. 유지 보수 요건이 낮아 장기간 안정된 측정 (stable measurement) 을 수행할 수 있습니다. 이는 인력 및 에너지 소비의 비용을 줄이는 데 도움이됩니다. 전반적으로 KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300은 고급적이고 정밀한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 레이저 간섭 시스템 (laser-interferometric system) 과 2축 정렬 장치 (two-axis alignment unit) 는 나노미터 정확도로 정확하고 파괴적이지 않은 측정을 제공하는 반면, 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스와 긴 운영 수명은 사용하기 편리하고 비용 효과적입니다.