판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9105990
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KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. "웨이퍼 '제조 에 필수적 인 측정 및 검증" 서비스' 를 제공 하여 "반도체 '생산 공정 의 필수적 인 일부 가 된다. 시스템은 초기 웨이퍼에서 완료된 제품까지 여러 프로세스 매개변수를 측정, 분석, 표시, 제어할 수 있습니다. KLA M-Gage 300은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기능을 제공합니다. 광학 산포 현미경 (OSM) 기술을 사용하여 MWE (multi-wavelength ellipsometry) 와 결합 된 Critical Dimension (CD) 도량형 측정을 제공합니다. 이것은 강철, 비철 재료, 석영/세라믹 및 유기 폴리머와 같은 웨이퍼 재료에 대한 고해상도 측정을 제공합니다. 이 장치는 또한 웨이퍼 검사 및 측정을 위해 풀 필드, 고속 이미징을 할 수 있습니다. APM (Advanced Polarization Module) 을 사용하여 웨이퍼 지형의 매우 상세한 표면 이미지를 캡처하여 자세한 결함 특성화가 가능합니다. 이 기계 에는 또한 "웨이퍼 '의 결함 을 식별 하고 발견 할 수 있는" 소프트웨어' 가 장비되어 있어 정확성 이 향상 되었다. TENCOR M-Gage 300은 또한 고급 스펙트럼 분석 기술을 사용하며, 제품 최적화 및 특성화에 대한 실시간 데이터 분석을 제공합니다. 이 도구의 고급 성능 (Advanced performance) 은 또한 사용자가 높은 처리량을 위해 자산을 구성하고, 프로세스 유발 기계적 응력 (process-induced mechanical stress) 이나 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 측정할 수 있도록 해줍니다. PROMETRIX M-Gage 300은 직관적인 사용자 인터페이스, 자동 웨이퍼 로딩 모델, 고급 도량형 기능 등 포괄적인 기능을 제공합니다. 이 제품은 광범위한 운영 환경에서 사용할 수 있도록 설계되었으며, 높은 정확도, 정확성, 반복성으로 효율성, 비용 효율적인 wafer (웨이퍼) 테스트 및 도량형을 지원합니다. 이 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 모든 웨이퍼 제조 시설에 필수적인 서비스를 제공합니다. 고급 (Advanced) 기능을 통해 제품 최적화 및 제작 프로세스 제어가 향상됩니다. M-Gage 300 시스템을 통해, 제작자는 생산량을 늘리고 비용을 절감할 수 있을 뿐 아니라, 정시 배송에 필요한 중요한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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