판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX FT-750 #293652818

KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-750은 300mm 및 더 큰 반도체 웨이퍼와 생산 환경에서 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 측정을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 자동 결함 검사, 자동 입자 분석, 광학 및 전기 측정, 오버레이, 결함 판별, 실패 분석 등 포괄적인 테스트 기능을 제공합니다. KLA FT-750은 컴퓨터 제어 다중 센서 간섭계, 충전 커플 링 장치 카메라, 고속 연결 로봇 서브 시스템 및 정교한 사용자 인터페이스를 사용하는 고정밀, 자동 장치입니다. TENCOR FT 750에 의해 전달 된 간섭계는 광전자 도구, 간섭계, 기계적 단계 및 반도체 구조의 다른 각도에서 이미징을 가능하게하는 조작기를 포함하는 높은 정확도의 이미징 머신입니다. 이 자산에는 포토리어 변환 간섭계 (Fourier transform interferometer) 의 상태가 포함되어 photolithography, overetch, front-of-line (FEOL) 및 back-end-of-line (BEOL). CCD 카메라는 다양한 어플리케이션에서 고해상도 이미지에 필요한 안정성, 정확성을 제공합니다. 금속 밀봉 로봇 서브시스템은 간섭계 (interferometer) 와 사용자 워크벤치 (workbench) 사이에 빠르고 정확한 웨이퍼 로딩 및 언로드를 가능하게 하며, 매우 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 미리 정의된 기능과 테스트 프로세스 레시피를 사용하여 자동 측정 시퀀스를 지원합니다. 또한 KLA FT 750 모델에는 전체 통계 분석 (statistical analysis) 기능이 포함되어 있어 개발 및 생산 프로세스의 결과로 피쳐 프로파일의 변경 사항을 측정할 수 있습니다. 이러한 기능은 정확한 결함 이미징 기능과 더불어 안정적인 결함 분류 및 특성화가 가능합니다. 또한 Metrology Process Monitor, Automated Operator 프롬프트 기능, 성능 및 측정 시퀀스 최적화, Error Reporting 등 포괄적인 시스템 관리 툴도 포함되어 있습니다. 다재다능하고 포괄적인 이 장치를 통해 사용자는 필요한 데이터를 액세스할 수 있으며, 수작업 단계를 제거하고 주기 (cycle) 시간을 단축할 수 있습니다. 전반적으로, FT-750은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계로, 자동화 향상, 정확도 및 신뢰성 향상, 처리량 향상을 제공합니다. 이 툴은 광범위한 기능을 제공하며, 운영 환경에서 데이터를 모니터링, 수집하는 한편, 포괄적인 통계 분석 (statistical analysis) 기능을 제공합니다. 자산의 사용자 인터페이스를 통해 자동 측정 시퀀스 (automated measurement sequence) 와 능률적인 결함 분류 및 특성화가 가능하므로 반도체 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.