판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX FT-500 #293646052

ID: 293646052
Film thickness probe system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-500은 반도체 생산의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션입니다. KLA FT-500 은 고급 자동화 (Advanced Automation) 와 다양한 검사 및 분석 기능을 갖춘 다기능 장비로, 반도체 제조 공정의 핵심 측면에 대한 단일 솔루션을 제공합니다. TENCOR FT-500에는 광학 검사, 고해상도 이미징, 이미지 기반 패턴 인식 및 ADC (Automated Defect Classification) 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능의 조합을 통해 시스템은 웨이퍼 (Wafer) 의 자동화된 프로세스 흐름에서 잠재적 결함을 식별하고 분류할 수 있습니다. 전체 웨이퍼 맵 (wafer map) 을 분석하는 기능을 통해 생산량 및 성능에서 프로세스 유도 변화를 발견 할 수 있습니다. 이 데이터는 품질 저하 샘플과 결함이 있는 부품의 근본 원인을 식별하는 데 사용될 수 있습니다. FT-500은 또한 완전한 광학 도량형 기능을 제공합니다. 이 단위는 임계 다이 치수 (critical die dimensions), 오버레이 정렬 (overlay alignment) 및 나노미터 정밀도로 피쳐의 모서리 추적 (trace edges of features) 을 측정할 수 있습니다. 또한 PROMETRIX FT-500은 프로세스 및 재료를 평가하기 위해 도량형 특정 이미징 기술 및 웨이퍼 매핑 기능을 제공합니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-500은 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 지원하는 사용하기 쉬운 오목 형 로봇 핸들러를 갖추고 있습니다. 자동 처리기는 최대 생산성을 위해 시간당 최대 400 개의 웨이퍼로 작동합니다. 또한, 시스템은 다양한 옵션과 유연한 구성의 어레이로 완벽하게 사용자 정의할 수 있습니다. 마지막으로 KLA FT-500은 안정적이고 효율적입니다. 반도체 검사 및 도량형의 토대 역할을하며, 빠른 생산, 안정적인 성능, 고급 웨이퍼 수준 결함 분석 (Advanced Wafer Level Defect Analysis) 을 제공합니다. 이러한 고급 방법과 기술을 통해 TENCOR FT-500은 반도체 생산 환경에 이상적인 솔루션입니다.
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