판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Frame for RS-55 #293662048

KLA/TENCOR/PROMETRIX Frame for RS-55는 종합적인 분석, 모니터링 및 검사 기능을 제공하는 아트 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비의 상태입니다. 저항성, 도핑 프로파일, 유전력, TID (total ionizing dose) 와 같은 다양한 웨이퍼 매개변수를 측정 할 수있는 강력하고 다재다능한 플랫폼입니다. 이 시스템은 저항성, 전자 탐사선 미세 분석 (EPMA), X- 선 형광 (XRF), X- 선 회절 (XRD), 반사 현상 분광기 (SPEC) 에 대한 다양한 in-situ 측정 옵션을 갖는 다중 센서 광학 프로브 헤드로 구성됩니다. 또한, 정밀 평판 측정을위한 수직 프로파일로미터와 고해상도 표면 스캐너 (surface scanner) 가 장착되어 있습니다. 광학 기계식 프로브 헤드 (opto-mechanical probe head) 는 최대 직경 200mm 크기와 다양한 수준의 복잡성을 가진 부품을 검사 할 수 있습니다. 멀티 센서 헤드 (Multi-sensor head) 에는 최고 수준의 정확도를 보장하기 위해 다양한 에너지 (Energy) 및 압력 감지 기능이 장착되어 있습니다. 또한 고유 한 이중 패스 스캐닝 (dual-pass scanning) 기술이 적용되어 웨이퍼의 상부 및 하부 표면을 동시에 스캔할 수 있으며, 더욱 심층적이고 정확한 데이터를 얻을 수 있습니다. 또한 KLA Frame for RS-55 는 처리량을 높이고 사용 편의성을 높여주는 고급 자동화 기능을 제공합니다. 특히, 자동 웨이퍼 처리 장치 (Automated Wafer Handling Unit) 를 장착하여 부품 로드 및 언로드를 자동으로 수행할 수 있습니다. 즉, 수작업 처리에 소요되는 시간이 단축되어 운영 환경의 효율성이 크게 향상됩니다. TENCOR Frame for RS-55 는 포괄적인 테스트 및 분석 기능과 더불어 고급 데이터 모니터링 기능도 제공합니다. 실시간 (Real-Time) 및 사후 (Post) 데이터 로깅 기능을 모두 갖추고 있습니다. 즉, 향후 검토 또는 분석을 위해 데이터를 수집하고 보존할 수 있습니다. 따라서 운영 환경과 R&D 환경 모두에 이상적인 선택이 됩니다. 전반적으로 RS-55 용 PROMETRIX 프레임은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 강력하고 안정적인 플랫폼입니다. 정교한 멀티 센서 옵토 (Opto) 기계식 프로브 헤드, 이중 패스 스캐닝 기술, 자동 웨이퍼 처리 기계 및 종합적인 데이터 모니터링 기능으로 광범위한 어플리케이션을 위한 다용도 도구입니다.