판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9299885

KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I
ID: 9299885
웨이퍼 크기: 6"
Inspection system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I은 고급 이미징 및 도량형 기술을 사용하여 고도의 심도 웨이퍼 결함 감지 및 이미징을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 장치는 AIT (Array Inspection Technology) 포트폴리오의 일부로 MEMS (Micro-electromechanical Systems), 전원 장치, 전체 웨이퍼 분석 및 기타 이미지 기반 결함 응용 프로그램과 같은 고급 응용 프로그램의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. KLA AIT I 시스템에는 고정밀 스테퍼 모터를 사용하여 서브 미크론 해상도로 기판을 스캔하는 빠른 레이저 스캐너가 포함되어 있습니다. 이 빠른 레이저 스캐너는 3D 표면 지형, 다중 반사율 및 이미지 선명도를 향상시킬 수 있습니다. 고급 제어 장치는 TENCOR AIT I 시스템의 작동을 제어합니다. AIT I 도구는 또한 최첨단 이미지 처리 및 계산 알고리즘을 갖추고 있으며, 빠르고 정확한 웨이퍼 검사 및 분석을 위해 설계되었습니다. 이러한 알고리즘은 웨이퍼 서피스에서 결함 (예: 범프, 스크래치, 피트) 을 감지하는 데 사용됩니다. 이 자산은 또한 적응 임계 처리, 영역 병합, 회색 스케일 조작과 같은 수많은 고급 이미지 처리 기술을 갖추고 있습니다. 이러한 기술을 통해 가시적 (visible) 결함 및 숨겨진 결함을 모두 감지 및 정량화할 수 있습니다. 이는 매우 정확한 웨이퍼 검사 및 도량형에 필수적입니다. PROMETRIX AIT I 모델에는 강력한 고급 이미징 (advanced imaging) 장비가 있으며, 이는 그 어느 때보 다 정밀도가 높은 웨이퍼 이미지를 캡처할 수 있습니다. 이 혁신적인 이미징 시스템은 정확한 간섭 측정 (interferometric measures) 을 통해 웨이퍼 이미지의 정확성과 해상도를 크게 향상시킵니다. 또한, 이 장치에는 강력한 소프트웨어 보정 프로그램이 있으며, 이 프로그램은 자동화된 데이터 획득을 위해 정확한 웨이퍼 (wafer) 프로파일을 생성하는 데 사용됩니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I 머신은 프로세스 흐름을 간소화하고 다운타임을 최소화하여 제품 제공 주기를 단축하고 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 이 도구의 강력한 사용자 인터페이스는 운영자 교육 및 제품 유지 관리를 단순화합니다. 이 자산의 모든 기능을 전체 생산/품질 관리 (Product and Quality Control) 프로세스에 통합하여 안정적인 제품 무결성 및 기능을 보장할 수 있습니다. KLA AIT I 모델은 반도체 웨이퍼 및 기타 고정밀 응용 프로그램의 테스트 및 도량형을위한 필수 도구입니다. "다용도 '와" 정확도' 를 통해 결함을 빠르고 안정적으로 감지할 수 있는 반면, 강력한 이미징 장비는 고밀도 측정과 분석을 실시간으로 검사할 수 있습니다. 이 시스템은 현대의 반 도체 제조 (semi-conductor manufacturing) 에 이상적이며, 변화하는 기술 환경의 요구에 적합합니다.
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