판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9293249

KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I
ID: 9293249
Inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I은 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 설계된 고급 도량형 장비입니다. 직경이 최대 200mm 인 단면 및 양면 웨이퍼를 모두 측정 할 수 있습니다. KLA AIT I은 2 개의 카메라와 독점 신호 처리 기술을 사용하여 매우 정확한 프로파일 측정을 얻기 위해 웨이퍼 2D 이미지를 캡처합니다. 이 고급 시스템은 해상도 0.01mm (웨이퍼 당 최대 2,400 만 포인트) 까지 측정 할 수 있습니다. TENCOR AIT I 장치는 Optics Cabinet과 Interferometer의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 광학 "캐비닛 '에는" 카메라', 조명 및 "렌즈 '와 같은 기계 의 모든 광학 부품 이 들어 있다. 그것 은 "웨이퍼 '의 보이는" 이미지' 를 캡처 한 다음 "간섭계 '로 옮겨 처리 하는 일 을 담당 한다. 그런 다음, 간섭계 (interferometer) 는 광학 캐비닛의 데이터를 사용하여 웨이퍼의 이상적인 프로파일을 실제 프로파일과 비교하여 0.01 mm (mm) 까지 매우 정확한 측정을 생성합니다. 이 도구는 워퍼에 자동으로 결함 (예: 스크래치, 모서리 칩, 변형된 모서리, 기타 유형의 불완전성) 을 발견할 수 있습니다. AIT I 자산은 고급 신호 프로세스 기술 (automated sorting and analysis) 을 활용하여 웨이퍼에 대한 다양한 유형의 결함을 정확하게 식별, 분류 및 분석할 수 있습니다. 이 모델은 또한 자동적으로 결함을 플래깅하여 생산 팀이 결함 웨이퍼 (wafer) 를 신속하게 수리 또는 교체할 수 있도록 할 수 있습니다. 또한 PROMETRIX AIT I에는 새로운 사용자 및 숙련된 사용자에게 모두 제공되는 고급 사용자 인터페이스 장비가 있습니다. 이 인터페이스를 통해 사용자는 시스템의 모든 측면 (입력 기준, 테스트 설정/실행, 필요한 데이터 액세스 등) 을 쉽고 빠르게 제어할 수 있습니다. 이 직관적인 인터페이스 (interface) 를 통해 사용자는 단위로 빠르고 쉽게 시작할 수 있으며, 신규 사용자의 학습 곡선을 줄일 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계는 모든 크기의 웨이퍼를 측정하고 분석하는 데 매우 다양하고 정확한 솔루션입니다. 이중 카메라, 전용 신호 처리 (signal processing) 기술, 고급 사용자 인터페이스 (advanced user interface) 는 운영 프로세스를 최적화하려는 모든 조직에 이상적인 선택입니다. 게다가, 이 장치는 내구성이 뛰어나며, 쉽고 빠르게 유지될 수 있어, 비용 효율적이고 신뢰할 수 있는 옵션입니다.
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