판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9278329

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I은 고급 반도체 웨이퍼 제조 및 연구를위한 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 포괄적인 검사, 측정, 제조 데이터 (전면 및 후면 웨이퍼 검사 모두 포함) 를 빠르고 효율적으로 제공합니다. 이 시스템은 안정성이 높고, 정확하며, 최대 성능 및 최고 수준의 수율을 보장하도록 설계되었습니다. KLA AIT I은 검사 스테이션, 이미지 획득 기계, 자동 광학 도구, 데이터 관리 자산 등 통합 구성 요소 단위로 구성됩니다. 검사 스테이션은 사용자 정의 설계, 다중 센서, 자동 광학 검사 플랫폼으로, 다이 (on-die) 정적 파라 메트릭 테스트와 다른 구조에 대한 동적 파라 메트릭 테스트를 제공합니다. 이미지 획득 모델 (Image Acquisition Model) 은 표준 해상도 웨이퍼 검사 시스템보다 높은 해상도로 웨이퍼 이미지를 획득하고 처리합니다. 또한 긁힘, 균열, 구덩이 및 기타 불규칙성과 같은 결함을 감지 할 수 있습니다. 자동 광학 장비는 웨이퍼 컨투어링, 자동 초점, 곡률 반경, 임계 치수 (CD) 측정, 오버레이 등 전체 도량형 기능을 제공합니다. 또한 고급 탐색 시스템 (Advanced Navigational Systems) 이 장착되어 시스템 작동을 안내하고 모니터링할 수 있습니다. 데이터 관리 장치 (data management unit) 는 이론적, 실시간, 역사적 비교를 제공하는 포괄적인 분석/시각화 툴을 통해 신뢰성이 뛰어납니다. 전반적으로, TENCOR AIT I 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계는 고급 반도체 웨이퍼 제작 및 연구를 위해 효율적이고 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 간편한 설치/견고한 운영 기능을 통해 고객은 가장 포괄적인 Wafer 검사, 측정, Fabrication 데이터 등을 이용할 수 있습니다. 최신 기술을 활용함으로써, 다른 방법에 비해 생산량 및 품질이 향상되어 결정적이고 비용 효율적인 솔루션을 구현할 수 있습니다 (영문).