판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9221583

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I은 KLA Corporation 및 TENCOR Corporation에서 개발 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 제조 과정에서 반도체 웨이퍼의 빠른 속도, 정밀 분석을 위해 설계되었습니다. 선 너비, 평평, 오버레이 정렬, 웨이퍼의 표면 토폴로지 (표면 토폴로지) 를 측정 할 수있는 자동 웨이퍼 검사 및 도량형 단위로, 뛰어난 정확도와 반복성을 제공합니다. KLA AIT I은 TMS (Total Measurement Software) 및 API (Applications Programming Interface) 와 같은 독점 기술을 사용하여 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 기계에는 TMS 및 API 기능을 Sensor 및 Imaging Heads, Networked Data Acquisition Hubs 및 Wafer Handlers와 같은 다른 구성 요소와 통합하는 WAC (Wafer Analysis Center) 가 포함되어 있습니다. "센서 및 이미징 헤드" 는 다양한 스캔 너비, 샘플링 밀도 및 측정 기능을 갖춘 와퍼를 스캔 및 측정하는 데 CCD (Charge-Coupled Devices) 를 사용합니다. 네트워크 데이터 획득 허브 (Networked Data Acquisition Hubs) 는 센서 및 이미징 헤드 (Sensor and Imaging Heads) 에서 데이터를 수집하고 분석하여 품질 제어를 위한 웨이퍼 특성의 글로벌 맵을 정확하게 생성합니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handlers) 를 사용하면 TENCOR AIT I 도구를 이동하고 웨이퍼를 에지 감지 및 측정에 정확하게 배치할 수 있습니다. TMS (Total Measurement Software) 는 필요에 따라 센서 및 이미징 헤드 (Sensor and Imaging Heads) 제어, 수집된 데이터 표시 및 스트리밍 측정 결과를 프린터 또는 컴퓨터에 제어합니다. 또한 TMS에는 결함 메트릭 도구 (metrics tools) 와 웨이퍼의 적합성을 결정하는 피쳐 플로터 (plotter) 가 있는 선형 (linear) 및 비선형 (non-linear) 근사값이 많이 포함되어 있습니다. API (Application Programming Interface) 는 CAD, Visualization, Data Acquisition 및 Wafer Fabrication 시스템과 같은 다양한 타사 시스템에 연결됩니다. 따라서 TMS 를 사용자의 기존 아키텍처에 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 API 를 통해 개발자는 다양한 환경에서 사용자 지정 웨이퍼 (wafer) 분석 소프트웨어를 만들고 개발할 수 있습니다. 전반적으로, 자산은 매우 정확하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 다양한 기능 및 구성 요소와 결합 된 반복 성과 정확성으로 인해 PROMETRIX AIT I은 웨이퍼 품질 제어에 적합한 선택입니다.