판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9139695

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I은 와퍼를 정확하고 신뢰할 수 있도록 설계된 종합 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 최소한의 시간과 노력으로 얇고 두꺼운 웨이퍼 (wafer) 를 모두 테스트하고 측정할 수 있습니다. 이 장치는 고급 기술과 알고리즘을 사용하여 표면 기능, 미세 결함, 결정 학적 결함까지 다양한 결함을 감지하고 식별합니다. 또한 wafer 테스트 결과를 분석, 보고하는 다양한 통합 소프트웨어 툴이 포함되어 있습니다. 기계의 핵심에는 특허 받은 TENCOR AIT (KLA Automated Inspection Tool) 가 있으며, 이는 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 특별히 설계되었습니다. 프로 메트릭스 AIT (PROMETRIX AIT) 는 차등 이미징 기술을 사용하여 표면 기능을 3nm 이내의 정확도로 매핑하고, 내장 된 고급 알고리즘은 가장 작은 결함까지도 감지하고 식별 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 자동 광학 도량형 (Optical Metrology) 에 대한 고급 알고리즘을 통합하여 웨이퍼 모양과 두께를 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 자산에는 웨이퍼 테스트 수행을 위해 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 제공하는 KLA/TENCOR/PROMETRIX TMIP (Micro Imaging Program) 도 있습니다. TMIP (Custom Defect Detection Program) 를 사용하면 특정 웨이퍼 테스트 애플리케이션의 특정 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 그런 다음 KLA AIT에서 이러한 사용자 정의 프로그램을 자동으로 실행할 수 있습니다. 따라서 사용자 개입을 최소화하면서 빠르고 일관된 웨이퍼 (wafer) 테스트를 수행할 수 있습니다. TENCOR AIT 모델은 다양한 고급 통계 분석 도구를 통해 TMIP 사용자 인터페이스를 보완합니다. 이 장비에는 강력한 추세 분석 및 통계 보고서를 생성할 수있는 통합 히스토그램 (Histogram) 엔진이 포함되어 있습니다. 이러한 보고서를 통해 파퍼 표면에 입자 밀도 (particle density) 또는 결함 균일성 (defect unifority) 과 같은 결함의 발생에 대한 자세한 추론을 할 수 있습니다. KLA AIT I은 반도체 장치 제조, 사진 분석 및 에칭과 같은 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 분야에 이상적입니다. 이 시스템은 최소한의 연산자 개입 (operator intervention) 으로 매우 정확한 결과를 제공할 수 있으며, 고품질 웨이퍼 생산에 귀중한 도구입니다.