판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9394280

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ID: 9394280
빈티지: 1995
Particle inspection system 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 최첨단 광학과 고급 분석을 결합하여 웨이퍼의 물리적, 전기적 특성을 전례없는 속도와 정확도로 측정하는 획기적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체, MEMS 장치, 집적 회로 및 기타 웨이퍼 기반 응용 프로그램에 사용되는 재료의 생산 또는 연구 수준 분석에 사용됩니다. KLA 7600 Surfscan 장치는 자동 웨이퍼 처리 기계를 갖추고 있으며, 각 기기와 하위 시스템 사이에 웨이퍼를 빠르고 정확하게 운송합니다. 즉, 신속한 테스트 및 데이터 입수를 용이하게 하며, 기존의 수작업 방식보다 훨씬 먼저 프로세스 이상을 감지할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 통제 대상 환경에서 분석이 이루어지도록 통합 된 환경 제어 (Environmental Control) 를 갖춘 현장 (In-Situ) 청소실 자산도 있습니다. 모델의 도량형 기능에는 고급 3D 프로파일 현미경 (Advanced 3D Profile Microscopy) 이 포함되며, 이는 웨이퍼의 토폴로지를 측정하는 데 사용되며 단계 높이 및 서피스 거칠기와 관련된 문제를 식별하는 데 도움이됩니다. 또한 OSS (Optical Spread Spectrum) 이미징 장비를 갖추고 있으며, 작은 미립자뿐만 아니라 특징 크기와 모양의 작은 변형을 감지 할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 "시스템 '은 광산란 장치 를 갖추고 있는데, 이 장치 는" 웨이퍼' 표면 의 입자 오염 을 측정 하는 데 사용 되며, 한 과정 에서 잠재적 인 오염원 을 식별 할 수 있다. 마지막으로, TENCOR 7600 Surfscan 기계는 웨이퍼의 전기 특성을 측정하여 생산이 결함이 없도록 도울 수 있습니다. 또한 향상된 소프트웨어 기능을 통해 데이터를 실시간으로 보고 분석할 수 있습니다 (영문). 리서치 (Research) 또는 프로덕션 (Production) 을 수행하는 사용자의 경우, 자세한 분석 및 실행 가능한 권장 사항으로 보고서를 생성하여 프로세스 결함을 빠르고 쉽게 검색, 파악할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 SEMI 표준을 완벽하게 준수하여 정확한 데이터 수집 및 보고 기능을 제공합니다. 간단히 말해서, 7600 Surfscan은 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 연구 및 생산 응용 분야에 적합합니다. 고급 광학 (Optics) 과 분석 (Analytics) 을 결합하면 결함을 빠르고 정확하게 식별하고 분류할 수 있으므로 품질 보장이 향상됩니다.
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