판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9377353

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 로봇 웨이퍼 분석 장비입니다. 탁월한 신뢰성과 재현성으로 테스트 및 도량형이 가능합니다. 모듈식 설계로 제작된 KLA 7600 서프 스캔 (Surfscan) 은 사용자의 특정 요구에 맞게 조정할 수 있는 여러 컴포넌트로 만들어집니다. 이 시스템은 고급 5DOF Ekpyrotic Probe를 사용하여 웨이퍼의 표면 지형을 매핑하고 분석합니다. Probe는 깊고, 빠르고, 정확한 스캔 및 도량형이 가능합니다. 작업 면적 450mm, 스텝 해상도 100m로 Ekpyrotic Probe는 탁월한 정확도와 속도를 제공합니다. 고정밀 기계식 부품은 정확한 테스트 및 도량형을 위해 정확한 동작 제어를 제공합니다. 회전 테이블탑은 측정 및 분석 중에 웨이퍼가 최적으로 배치되도록 합니다. 높은 토크, 높은 정확도 DC 모터로 구동되며 정확한 서보 제어 루프를 통해 관리됩니다. 모든 원시 측정 데이터는 7600 소프트웨어에서 제공하는 SQL 데이터베이스에 수집되어 저장됩니다. 이 포괄적인 스토리지 유닛은 수백만 개의 전용/표준 스캔 데이터 세트를 저장할 수 있습니다. SQL 데이터베이스의 유연성과 확장성을 통해 정교한 데이터 분석 및 조작 작업을 수행할 수 있습니다. TENCOR 7600 Surfscan은 사용자 정의 알고리즘을 사용하여 신뢰할 수있는 도량형 데이터를 생성합니다. 스캔 알고리즘은 사용자정의 매개변수에 따라 컨투어를 시작, 측정 및 추적합니다. 웨이퍼 (Wafer) 데이터는 예상 값과 비교할 수 있으며 측정의 모든 이상은 빠르게 식별 될 수 있습니다. 이 시스템에는 손쉬운 작업 및 지원을 위한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있습니다. 7600 소프트웨어와 통합된 GUI 를 사용하면 설정을 사용자 정의하고, 데이터를 분석하여 보다 심층적인 통찰력을 얻을 수 있습니다. 또한 GUI 는 복잡한 테스트를 쉽게 실행하고 도구의 진행 상황을 모니터링할 수 있도록 단계별 지침과 시각적 피드백 (visual feedback) 을 제공합니다. PROMETRIX 7600 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 다재다능하고 강력한 도구입니다. 고급 로봇 스캐닝, 맞춤형 자산 모듈, 고정밀 모터, 직관적인 소프트웨어 제품군을 통해 고정밀 웨이퍼 (high-precision wafer) 분석을 위한 이상적인 후보가 됩니다.