판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9274943

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 웨이퍼 지형 및 형태에 대한 측정 및 점검과 자동 플랫폼을 결합한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 도량형 하드웨어 (metrology hardware) 및 소프트웨어 혁신을 활용하여 프로세스 엔지니어에게 반복 가능하고 안정적인 결과를 제공합니다. 서프 스컨 7600 (Surfscan 7600) 은 반도체, 평면 패널 디스플레이, 태양광 발전 등 다양한 산업에 사용되는 다재다능한 시스템입니다. KLA 7600 Surfscan은 터치리스 (touchless) 광 장치 및 비 접촉 표면 측정 기술을 결합하여 고해상도, 반복 가능한 지형 측정 및 이미지를 제공합니다. 고해상도 CCD 카메라를 사용하여 샘플 서피스 프로파일의 수평 (horizontal) 및 수직 (vertical) 방향으로 최대 200개의 이미지를 캡처합니다. 또한, 기계는 8축 자동 샘플 스테이지를 통합하여 전체 샘플을 높은 정확도로 스캔 할 수 있습니다. 자동 스캐닝 (automatable scanning) 과 비접촉 (non-contact) 광 프로파일링을 조합하면 기계적 사용자 입력이 없는 이기종 샘플에서 빠르고 정확한 토폴로지 측정이 가능합니다. 분석의 경우, 7600은 널리 사용되는 3D 프로파일 분석용 SP3D 소프트웨어 및 거칠기 분석을위한 MV3D를 포함하여 여러 분석 패키지를 제공합니다. 병렬 아키텍처를 활용하여 SP3D는 단계 높이, 초점 (focus) 의 하나 또는 여러 깊이에서 이미징, 결함, 범프, 피쳐 영역, 편차 등의 측정에 대한 데이터를 신속하게 처리합니다. Surfscan 7600은 또한 통계 데이터 수집 및 분석을 위해 다양한 업계 표준 도량형 소프트웨어 패키지를 지원합니다. TENCOR 7600 Surfscan에는 도량형 기능을 향상시키는 많은 실용적인 기능이 있습니다. 원터치 자동 정렬, 자동 샘플 스캔, 정확한 x-y-z 프로파일링, 여러 샘플 크기의 데이터를 허용하는 베드 영역 등의 기능을 제공합니다. 또한, 7600은 온도와 상대 습도 전반에 걸쳐 샘플 프로파일 측정의 안정성을 보장하기 위해 내부 환경 제어 도구 (internal environmental control tools) 를 제공하여 다양한 지리와 기후 전반에 걸쳐 자산을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 마지막으로, 7600 은 소프트웨어 기반 샘플 처리 모델을 갖추고 있어 수동/자동 웨이퍼 처리가 가능합니다. 전반적으로, 7600 Surfscan은 이종 샘플의 지형 기능을 측정하고 검사하기 위해 특별히 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. EMC Process Engineer 는 경쟁 제품과 차별화되는 하드웨어/소프트웨어 혁신을 결합한, 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 고해상도 이미징 기능, 종합적인 분석 패키지, 온도/습도 안정성 등으로 인해 다양한 업계에서 귀중한 툴이 되었습니다.