판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9250108

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 반도체 장치 및 집적 회로 생산에 사용되는 완전 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 지형, 배열, 균일성, 두께, 모양 등의 장치 특성을 포괄적으로 측정 할 수 있습니다. KLA 7600 Surfscan에는 고급 광학, 동작, 이미징 기술이 장착되어 있어 이미저를 샘플 웨이퍼 주변의 매우 작은 스케일로 이동시킬 수 있으며, 이는 매우 정확합니다. TENCOR 7600 Surfscan은 측정에서 높은 정밀도를 제공하며, 데이터를 1 nm 해상도로 캡처 할 수 있습니다. 이 장치에는 샘플의 요구 사항에 맞게 동적 광도 (dynamic range of light intensities) 를 제공하는 여러 조명원이 있습니다. 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 빔을 스캔 할 수있는 풀 레인지 광학 현미경으로, 7600 Surfscan은 샘플의 고해상도 지형 및 형태 학적 맵을 생성합니다. 이 기계는 또한 복잡한 데이터 세트를 분석하고 웨이퍼 (wafer) 의 미세 구조를 정확하게 결정할 수있는 다양한 고급 소프트웨어 알고리즘 (advanced software algorithms) 과 필터를 가지고 있습니다. PROMETRIX 7600 Surfscan에는 웨이퍼 방향 각도를 변경할 수있는 2 개의 로터리 스테이지 옵션과 레이저 회절, 산란 측량, 간섭법, 3 차원 프로파일러 등 광범위한 레이저 측정 도구가 포함됩니다. 또한 자동화된 웨이퍼 처리 에셋 (wafer handling asset) 을 통해 모델에서 웨이퍼를 로드하고 언로드하는 프로세스를 간소화합니다. 통합 AutoFocus 기능을 사용하면 Wafer 가 항상 최적의 평면에 있어 매우 정확하게 측정할 수 있습니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan의 인체 공학적 디자인에는 액세스 쉬운 디스플레이가 포함되어 있어 운영자가 실시간으로 장비의 성능을 모니터링할 수 있습니다. 대형 터치 스크린 디스플레이 (large touchscreen display) 는 검사 프로세스에 대한 주석이 달린 정보와 통계가 있는 웨이퍼 서피스의 명확한 뷰를 제공합니다. 또한, KLA 7600 Surfscan에는 진단 도구 및 내장 테스트 시스템 (내장) 이 포함되어 있어 포괄적인 시스템 성능 검증을 통해 장치가 항상 사양에 따라 작동하는지 확인합니다. TENCOR 7600 Surfscan은 신뢰할 수 있고, 강력하며, 정확한 기계를 찾는 반도체 제조업체, 실험실 및 연구 센터에 적합한 선택입니다. 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 반도체 장치의 품질 제어에 매우 중요한 정확하고 신속한 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형을 수행할 수 있습니다.