판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9227522

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 높은 처리량 및 품질 제어 어플리케이션을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 옵틱 (optic), 감지 (sensing) 및 이미지 처리 기술을 사용하여 웨이퍼 서피스의 임계 치수 (CD) 및 지형을 정확하게 측정하고, 제조업체가 생산 결함을 감지하고, 중요한 장치 레이어 기능을 확인하고, 오버레이 정확도를 측정할 수 있습니다. 이 시스템은 전동 광 현미경, 2 개의 고해상도 레이저, 디지털 카메라 및 통합 소프트웨어 제품군으로 구성됩니다. 현미경은 최대 9 인치 직경의 웨이퍼 표면을 검사하고 이미지화하는 데 사용됩니다. 레이저는 여러 영역에서 기능을 측정하고 최대 0.25 마이크로 미터의 수직 해상도를 제공합니다. 카메라는 12MP 컬러 이미지를 캡처하여 결함을 확인하고, 소프트웨어 제품군은 CD, 필름 측정, 실시간 이미지 비교 등의 강력한 실시간 분석 기능을 제공합니다. KLA 7600 Surfscan은 최대 0.25 마이크로 미터의 해상도로 필름과 장치를 측정 할 수 있으며, 제조업체는 생산 결함을 정확하게 감지하고, 프로세스 흐름을 최적화하고, DMO (High-Yield Device Lot Optimization) 프로그램을 만들 수 있습니다. 이 장치는 또한 신뢰성이 높으며, 최소한의 배경 노이즈를 방출하고, 비교할 수없는 정확성과 반복 성을 제공합니다. TENCOR 7600 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형 어플리케이션에 이상적이며, 정확도가 높은 결과를 빠르고 안정적으로 제공합니다. 사용이 간편한 통합 소프트웨어 제품군은 데이터 획득, SPC (Statistical Process Control), 고급 분석 (Advanced Analysis) 에 최적화되어 있어 Wafer Surface를 빠르고 효율적으로 검사하고 분석할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 고급 광학 기술, 고해상도 레이저, 강력한 소프트웨어, 다중 기판 지원 등을 결합하여 제조업체가 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 어플리케이션에서 일관된 고품질 결과를 경제적으로 달성할 수 있도록 지원합니다.