판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9137281

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 집적 회로 (IC) 의 전기, 광학 및 기계적 특성을 측정하는 데 사용되는 고성능 웨이퍼 테스트 및 계측 장비입니다. 이 시스템은 다양한 웨이퍼 기판에 대해 포괄적이고 반복 가능한 검사 및 측정 기능을 제공하며 저항성, 커패시턴스, 결함, 균일성, 라인 너비, 3D 높이 등 다양한 유형의 IC에 대한 다양한 측정 옵션을 제공합니다. KLA 7600 Surfscan은 최첨단 CCD 카메라 및 컴퓨터 제어 스테이지 시스템에 고해상도 LSM (Lateral Scanning Microscope) 을 통합하여 나노 미터 수준에서 웨이퍼를 신속하게 검사하고 측정합니다. 이 단위는 측면 축에서 1 나노 미터, 수직 축에서 1 나노 미터의 정확도를 가지며, 이는 측정 결과에 대한 높은 반복성과 정확성을 제공합니다. 또한 TENCOR 7600 Surfscan은 3 차원 이미징, 복합 오버레이 디자인 및 고해상도 신호 처리와 같은 고급 이미징 기능을 제공합니다. 안정적인 성능을 보장하기 위해 7600 Surfscan은 공기 작동 웨이퍼 포지셔닝 머신 (air-actuated wafer positioning machine) 및 다중 레벨 동적 스테이지 도구 (multi-level dynamic stage tool) 와 같은 여러 첨단 구성 요소로 설계되었습니다. 공기 작동식 웨이퍼 포지셔닝 자산을 사용하면 1 마이크로미터 내에서 와퍼를 정밀 수동 (manual) 및 자동 배치하여 정확도와 처리량을 높일 수 있습니다. 다단계 동적 스테이지 (Dynamic Stage) 모델을 사용하면 관심 영역에 중점을 둔 3차원 스캐닝이 가능하며, 높은 초점과 높은 스캔 속도를 제공하여 효율성을 극대화할 수 있습니다. PROMETRIX 7600 Surfscan에는 자동 결함 검토 (automated defect review) 장비가 장착되어 있어 엔지니어가 스캔한 웨이퍼의 잠재적 결함을 신속하게 검토하고 식별 할 수 있습니다. 이 시스템은 1/2 초 이내에 전체 이미지 세트를 캡처할 수 있으며 크기 (size) 와 밝기 (brightness) 에 따른 결함을 그래픽으로 표현하여 엔지니어가 잠재적인 문제 영역을 신속하게 조사, 진단할 수 있습니다. 또한, KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 사용자 친화적 인 인터페이스를 포함하여 여러 가지 제어 옵션을 제공하며, 엔지니어가 특정 프로그램 요구 사항에 맞게 장치를 사용자 정의하고 다른 하드웨어 및 소프트웨어 시스템과 통합할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 업계 최고의 도량형 플랫폼과 호환되므로, 그 결과가 업계 표준과 호환됩니다. 전반적으로, KLA 7600 Surfscan 툴은 강력하고 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴로, 엔지니어가 IC 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 진단하여 최고의 품질 표준을 보장합니다. 이 자산은 고급 이미징 기능을 제공하여, 엔지니어가 잠재적인 문제를 효율적이고 경제적인 방식으로 파악할 수 있습니다.