판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9122626

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ID: 9122626
웨이퍼 크기: 2"-8"
Particle inspection system, 2"-8" Model no: 249505 Particle sensitivity: 0.15 um 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. Surfscan 7600 (Surfscan 7600) 은 완전하게 자동화된 툴로서, 고급 R&D 애플리케이션뿐만 아니라 웨이퍼 제작을 위한 세계적 수준의 성능과 포괄적인 프로세스 제어를 제공합니다. 7600 은 강력하고 강력한 옵티컬 설계로 탁월한 Wafer 검사, 정확한 Wafer Topography 측정, 높은 처리량, 완벽한 데이터 무결성을 제공합니다. 이 시스템은 단계 기반 도량형 구성 (metrology configuration) 을 제공하여 프로세스 개발의 제어 및 유연성을 확대합니다. 다재다능한 광학 플랫폼은 다양한 광학을 제공하여 결함, 치수 검사, 임계 치수 패턴의 거칠기 (roughness of critical-dimension pattern) 등 다양한 영역에서 효과적인 분석을 할 수 있습니다. 또한, Surfscan 7600에는 감지된 결함에 대한 정확한 분리, 분류 및 피드백을 제공하는 내장 데이터 처리 장치가 포함되어 있습니다. 이 기계에는 여러 파장 광학 이미징, 풀 필드 특성, 적응 이득 조정, 신속한 이미지 상관 관계, 향상된 결함 감지 기능 등 여러 통합 처리 기능이 있습니다. 또한, 7600 은 기존 프로세스 장비와 인라인 (in-line) 방식으로 통합되어 프로세스 제어 및 사용자 정의를 강화할 수 있습니다. 이 도구에서 얻은 데이터는 직관적이고 이해하기 쉬운 형식으로 제공됩니다. 서프 스컨 7600 (Surfscan 7600) 은 종합적인 웨이퍼 분석을 통해 고급 연구 및 개발에 귀중한 도구입니다. 측정 기능의 범위는 광학 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 신뢰성이 높고 견고한 것으로 인정 받고 있으며, 이 제품은 업계의 수많은 웨이퍼 제작 (wafer fabrication) 비즈니스에 필수적입니다.
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