판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9083818

KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan
ID: 9083818
웨이퍼 크기: 6"
Particle inspection system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 반도체 제작을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제작 과정에서 반도체 웨이퍼 표면에 대한 포괄적인 자동 결함 감지 (automated defect detection) 및 특성을 제공하도록 설계되었습니다. 서프 스컨 7600 (Surfscan 7600) 장치는 스펙트럼 반사계 (spectral reflectometry) 와 광학 현미경을 모두 제공하여 반도체 웨이퍼 제작에 사용되는 다양한 재료의 표면 토폴로지 및 결함을 정확하게 측정합니다. 이 기계는 미크론 크기의 결함 및 피쳐의 크기, 모양, 위치, 방향을 정량화할 수 있습니다. 공구의 고급 감지 기능을 사용하면 크기가 0.2 미크론 (미크론) 이하인 것을 감지할 수 있습니다. Surfscan 7600 (Surfscan 7600) 은 직관적인 사용자 인터페이스와 여러 가지 고급 기능을 갖춘 신뢰할 수 있는 최첨단 자산입니다. 이 모델에는 내장 Windows 10 운영 장비, 사용자와의 직접 상호 작용을위한 20 인치 HD 터치 스크린 LCD, 고품질 디지털 카메라, 조명 및 결함 감지를 위한 컴팩트 광원이 있습니다. 이 시스템은 바코드 리더기, 전동 자동 X-Y-Theta 스테이지 및 완전 자동화 샘플 식별 장치 (fully automated sample identification unit) 로 제작되었습니다. Surfscan 7600은 정확하고 안정적인 표면 토폴로지 매핑, 결함 감지 및 특성을 제공하도록 설계되었습니다. 유동적 인 기계 로서, 여러 가지 재료 와 특수 공정 을 시험 할 수 있다. 이 도구는 실리콘 웨이퍼, 유리 웨이퍼, 금속, 유전체 등 다양한 재료를 테스트 할 수 있습니다. 자산에는 완벽한 결함 감지, 식별 및 분석 기능이 있습니다. 자동화된 결함 감지 (Felect Detection) 및 분류 (Classification) 를 위한 정교한 이미지 처리 알고리즘과 소프트웨어를 비롯한 다양한 강력한 이미지 처리/분석 툴을 갖추고 있습니다. Surfscan 7600에는 포괄적인 결함 유형 라이브러리가 포함되어 있으며, 이 라이브러리는 효과적인 결함 인식 및 분류에 사용될 수 있습니다. 요약하면, KLA 7600 Surfscan은 포괄적 인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 반도체 제조 공정 (semiconductor fabrication process) 에 사용되는 다양한 기판 재료의 표면 토폴로지 (surface topology) 및 결함을 테스트하는 고급 기능과 기능을 제공합니다. 미크론 크기의 결함을 감지하고, 정확하고 안정적인 결함 감지, 분류를 제공할 수 있습니다.
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