판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9073508

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan 시스템은 소형 전자 구조의 조사 및 표면 특성화에 적합한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 최신 전자 기기의 효율적이고 안정적인 생산에 중요한 제조 프로세스 (fabrication process) 를 모니터링하기 위한 심층적인 데이터 제공. KLA 7600 Surfscan은 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. Analyzer Station, Optical Metrology Station 및 Wafer Chuck Stage. Analyzer Station 은 두 개의 표면 측정 헤드 (활성 헤드, 이중 채널 전기 측정 담당, 수동 헤드) 로 구성되며, 전기적 특성이 아닌 필름 두께를 측정하는 데 사용됩니다. 광학 도량형 스테이션 (Optical Metrology Station) 은 표면 지형을 측정하는 데 사용되므로 고해상도 패턴을 평가하고 최적화 할 수 있습니다. 웨이퍼 척 스테이지 (Wafer Chuck Stage) 는 라이드-투-기판 접촉뿐만 아니라 웨이퍼의 정밀 배치 및 정렬을 보장하는 추가 구성 요소입니다. TENCOR 7600 Surfscan에는 여러 가지 다른 구성 요소가 있습니다. 여기에는 고주파 시트 저항 모듈, TTV 분석 및 자동화 도구뿐만 아니라 Optical Particle Inspection 및 Secondary Ion Mass Spectrometry가 포함됩니다. 고주파 시트 저항 (High Frequency Sheet Resistance) 은 박막 레이어의 시트 저항을 측정하며, 이는 전기 특성을 최적화하는 데 사용될 수 있습니다. 한편, TTV 분석 (TTV Analysis) 모듈은 여러 웨이퍼에 걸쳐 표면 지형에 대한 자세한 뷰를 제공하여 웨이퍼-웨이퍼 비교를 위해 빠르고 효율적인 프로세스를 개발합니다. [자동화 도구] 를 사용하면 여러 분석 및 특성 패턴을 불러올 수 있고 [광학 입자 검사] 를 사용하면 웨이퍼의 입자 수를 지정할 수 있습니다. 마지막으로, 2 차 이온 질량 분석은 원자와 분자를 질량으로 분리하여 쉽고 효과적인 오염 분석을 수행합니다. PROMETRIX 7600 Surfscan 시스템은 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 요구에 대한 포괄적이고 고품질 솔루션을 제공합니다. 이 기기 의 정확성 과 자동화 능력 이 증가 함 으로써, 현대 전자 제품 의 결함 을 탐지 하는 데 이상적 인 해결책 이 되었음이 증명 되었다. "뉴우요오크 타임즈" (영문) 지는 이렇게 보도 한다.