판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9065953

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 도구입니다. Lithography 프로세스의 검증, 최적화, 차세대 Lithography 기술의 Engineer 결함 서명 분석 등을 지원하기 위해 고급 결함 감지, 매핑, 검토를 수행할 수 있습니다. OCD (optical critical dimension), 3D/2D (wafer surface topography) 측정, 결함 검토, 광학 도량형 등 광범위한 검사를 제공할 수 있습니다. KLA 7600 Surfscan은 자동 초점 정렬을 통해 처리량이 많은 45nm 및 90nm 노드 웨이퍼에서 OCD 스캔 품질을 향상시킬 수 있습니다. 또한 특허를받은 스마트 모드 (Smart Mode) 알고리즘을 사용하여 2nm 간격으로 웨이퍼에서 고해상도 결함 캡처를 제공하는 자동 검사 시스템이 있습니다. 동적 초점 센서 (Dynamic Focus Sensor) 는 스캐닝이 진행됨에 따라 계속 모니터링하고 초점을 조정하는 센서 (Sensor) 를 사용하여 스캔에서 포커스 안정성을 향상시키는 데 사용됩니다. TENCOR 7600 Surfscan에는 다양한 모양과 크기의 결함을 감지하고 이미지화하는 Litescan 도구가 있습니다. 이 도구 는 적외선 "레이저 '를 사용 하여" 웨이퍼' 를 비추고 "웨이퍼 '를 오염 시키거나 손상 시키지 않고" 이미지' 를 캡처 한다. 또한 MicroMapper 기능이 장착되어 초미세 결함을 감지 할 수 있습니다. 각 웨이퍼의 결함 데이터는 데이터베이스에 저장되어 3D 매핑 (3D mapping) 기능을 사용하여 다른 웨이퍼와 비교할 수 있습니다. PROMETRIX 7600 Surfscan은 여러 기술을 결합하여 가장 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 중 하나입니다. 자세한 결함 분석, 정교한 픽셀 수준 검색, 통계 데이터 분석, 결함 검토 등을 제공합니다. 이러한 기능의 조합을 통해 사용자는 결함 유형을 정확하고 효과적으로 파악하고 프로세스 개선을 개선할 수 있습니다 (영문).