판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9011095

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan
판매
ID: 9011095
Particle inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 반도체 산업을 위해 설계된 고속 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 수많은 다른 유형의 테스트 구조에서 정확하고 반복 가능한 도량형 측정을 제공 할 수 있습니다. 서피스 스캔 7600 (SurfScan 7600) 은 서피스 거칠기와 임계 치수 측정을 모두 수행하여 더 정확한 결함 분석 및 특성을 제공합니다. SurfScan 7600은 동적 반도체 생산 환경의 요구를 충족하도록 특별히 설계되었습니다. wafer surfscan 시스템의 작동 속도 및 처리량이 가장 높습니다. 첨단 광학 장치 (optical unit) 와 자동화된 모션 플랫폼 (motion platform) 을 통해 기계는 직경 200mm의 웨이퍼를 빠르게 측정하고 분석 할 수 있습니다. 또한 실리콘, 갈륨 비소 및 실리콘-온-인슐레이터를 포함한 다양한 기판을 지원합니다. 또한 SurfScan 7600에는 정확하고 정확한 도량형을 보장하도록 설계된 여러 가지 고급 기술이 포함되어 있습니다. 고급 레이저 간섭법, 라이트 시트 이미징 및 자동 웨이퍼 정렬이 특징입니다. 특허를받은 중요 치수 알고리즘은 정확한 결과와 엄격한 분포 제한을 보장합니다. SurfScan 7600은 50 nm 해상도까지 프로브 할 수있는 전용 서브 미콘 프로브 도구를 제공합니다. 또한 다양한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있어 측정/분석 프로세스 (Measurement and Analysis Process) 를 간소화하고 최적화할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 실시간 프로세스 및 결과 모니터링을 제공하며, 웹 기반 데이터에 대한 액세스를 제공합니다. SurfScan 7600은 반도체 직물 및 연구 실험실에서 선호하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 전례 없는 속도 와 정확성 때문 에, 오늘날 의 경쟁적 인 반도체 환경 에서 매우 귀중 한 도구 가 됩니다. 또한 신뢰성이 높고 비용 효율적이므로 모든 반도체 품질 관리 (quality control) 및 도량형 (metrology application) 을 위한 완벽한 선택입니다.
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