판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #293652902

ID: 293652902
빈티지: 1995
Particle inspection system 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 그 기능을 통해 분석 및 파괴적인 웨이퍼 테스트를 모두 수행할 수 있습니다. 이 장비 제품군은 Innoscan 7600 Wafer Test System 및 XP31 Wafer Test Aperture로 구성됩니다. Innoscan 7600 Wafer Test Unit은 고밀도 검사를 위해 고감도 분석과 컴팩트성을 모두 제공합니다. 컴퓨터 제어 광학 기계는 레이저 회절 측정을 사용하여 웨이퍼 표면에서 평평, 불규칙성, 표면 거칠기, 고체 구조를 측정 할 수 있습니다. XP31 웨이퍼 테스트 조리개 (XP31 Wafer Test Aperture) 는 고밀도 회로 패턴, 구성 및 저항성 그라디언트를 선택적으로 검사하고 검사하는 기능을 7600에 장착합니다. Innoscan 7600과 함께 다양한 접촉 모양을 측정 할 수 있습니다. 이 두 조각은 함께 작동하여 웨이퍼 (wafer) 표면의 장치를 정확하고 효율적으로 측정 할 수 있습니다. KLA 7600 Surfscan 은 통합 (Integrated) 광 툴로 설계되어 광범위한 웨이퍼 유형을 측정할 수 있습니다. 자산은 또한 측정을 자동화하고, 데이터의 통계적 분석을 통해 운영자의 개입을 최소화할 수 있습니다 (영문). 7600의 전기 스캐닝 모델을 사용하면 빠른 속도로 정확한 측정이 가능합니다. 연속 서피스, 스텝 높이 및 측면 각도를 측정 할 수 있습니다. 이 기기에는 접촉, 범프 및 서피스 높이 프로파일을 평가하기위한 특수 소프트웨어가 장착되어 있습니다. TENCOR 7600 Surfscan은 반도체 산업, 태양 전지 실험실 및 Failure Analysis 실험실에서 사용되는 데 이상적입니다. 효율적이고 정밀도가 높은 분석 기능을 통해 이 장비는 최대 수율, 다이 수용 (die acceptance) 및 결함 위치에 적합합니다. 강력한 소프트웨어를 사용하면 표준 웨이퍼 테스트 (Standard Wafer Testing) 에서 일반적으로 감지되지 않는 심각한 결함을 감지하고 분류할 수 있습니다. PROMETRIX 7600 Surfscan은 웨이퍼를 분석하고 결함을 감지하는 데 매우 유용하고, 정확하며, 신뢰할 수있는 도구입니다.
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