판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #293594317

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan은 웨이퍼 표면을 빠르고 정확하고 효율적으로 테스트 할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 파퍼 (Wafer) 표면의 매우 사소한 불완전성과 이상을 감지하여 웨이퍼 (Wafer) 의 생산 품질에 대한 상세하고 신뢰할 수있는 통찰력을 제공하도록 설계되었습니다. 서프 스캔 7600 (Surfscan 7600) 은 비접촉 측정 기능을 갖추고 있으며, 이는 파괴적이지 않은 방식으로 표면 결함 분석을 가능하게하여 샘플 처리에 매우 효율적인 샘플을 제공합니다. 이 시스템은 업계 최고의 Surfscan 7500 소프트웨어 플랫폼을 사용하여 스텝 높이 (step height), 서피스 거칠기 (surface roughness), 파동 (waviness) 및 프로파일 측정 (profile measurements) 과 같은 광범위한 표면 특성을 빠르고 픽셀로 정확하게 측정합니다. 포함된 CCD 광 프로파일 (CCD Optical Profile) 및 피치 측정 단위 (Pitch Measurement Unit) 는 매우 높은 해상도로 빠르고 정확한 측정을 제공하여 미세한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 기계의 확장 가능한 현미경 (scalable microscopy) 기능은 측정의 정밀도를 더욱 향상시켜 수동 입력 없이도 시각적 검사 및 검토를 허용합니다. 이 도구에는 결함 위치와 유형의 실시간 디스플레이를 제공하는 KLA 웨이퍼 맵 리포터 (KLA Wafer Map Reporter) 도 있습니다. 이렇게 하면 분석 속도가 빨라지고 데이터 입력 오류가 최소화됩니다. 또한 DME (Integrated Defect Map Editor) 를 사용하면 결함 수의 추가 분석 및 정확한 구성을 위해 결함 맵 및 현미경 슬라이드를 자동으로 생성할 수 있습니다. 또한, 자산은 결함 위치와 화학 조성 사이의 자동 상관 관계를 특징으로합니다. 이것 은 거짓 결함 을 정품 결함 과 분리 시키는 데 도움 이 되며, 표면 에 화학적 인 지문 을 제공 한다. 이를 통해 결과의 정확성과 반복성이 향상됩니다. KLA 7600 Surfscan은 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 모든 웨이퍼 생산 환경에서 사용하기에 적합합니다. 하드웨어/소프트웨어 통합, 정확도 및 속도, 확장성, 자동 결함 분석 (Automated Defect Analysis) 의 조합으로 반도체 업계의 전문가에게 선호되는 선택입니다.